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1、位移檢測傳感器之光柵傳感器1第三節(jié)第三節(jié) 大位移檢測傳感器大位移檢測傳感器二、光柵位移傳感器二、光柵位移傳感器位移檢測傳感器之光柵傳感器2二、光柵式位移傳感器二、光柵式位移傳感器n光柵式位移傳感器有測量光柵式位移傳感器有測量線位移線位移的的長光柵長光柵和測和測量量角位移角位移的的圓光柵圓光柵。位移檢測傳感器之光柵傳感器3光柵式位移傳感器的分類1 測量線位移的長光柵2 測量角位移的圓光柵位移檢測傳感器之光柵傳感器4位移檢測傳感器之光柵傳感器5n由大量等寬等間距的平行狹縫組成的光學器件稱為光柵，由大量等寬等間距的平行狹縫組成的光學器件稱為光柵，如圖所示。如圖所示。n 用玻璃制成的光柵稱為透射光柵，

2、它是在透明玻璃上刻用玻璃制成的光柵稱為透射光柵，它是在透明玻璃上刻出大量等寬等間距的平行刻痕，每條刻痕處是不透光的，出大量等寬等間距的平行刻痕，每條刻痕處是不透光的，而兩刻痕之間是透光的。而兩刻痕之間是透光的。n 光柵的刻痕密度一般為每厘米光柵的刻痕密度一般為每厘米10、25、50、100線?？叹€?？毯壑g的距離為柵距痕之間的距離為柵距W。莫爾條紋莫爾條紋位移檢測傳感器之光柵傳感器6光柵結構放大圖光柵結構放大圖 位移檢測傳感器之光柵傳感器7n 長光柵是在兩塊光學玻璃上或具有強反射能長光柵是在兩塊光學玻璃上或具有強反射能力的金屬表面上，刻上相同的均勻密集的平行細力的金屬表面上，刻上相同的均勻密集

3、的平行細線。如果將這兩塊玻璃板或金屬板重疊放置，并線。如果將這兩塊玻璃板或金屬板重疊放置，并使它們的刻線間有一微小夾角使它們的刻線間有一微小夾角 ，此時，由于，此時，由于光光的干涉效應的干涉效應，兩塊光柵的刻線相交處，光會從縫，兩塊光柵的刻線相交處，光會從縫隙透過，形成亮帶（如圖隙透過，形成亮帶（如圖a-a線），而在一塊光線），而在一塊光柵的刻線與另一塊光柵的縫隙相交處形成暗帶柵的刻線與另一塊光柵的縫隙相交處形成暗帶（b-b），這種亮帶和暗帶形成明暗相間的條紋，），這種亮帶和暗帶形成明暗相間的條紋，這些條紋稱為這些條紋稱為莫爾條紋。莫爾條紋。 條紋方向與刻線方向條紋方向與刻線方向近似垂直。近似

4、垂直。莫爾條紋莫爾條紋位移檢測傳感器之光柵傳感器8n根據(jù)根據(jù)莫莫爾條紋爾條紋效應設效應設計光柵計光柵傳感器傳感器。 莫爾條紋莫爾條紋位移檢測傳感器之光柵傳感器9若光柵柵距為若光柵柵距為W，兩個相鄰莫爾條紋的間距為，兩個相鄰莫爾條紋的間距為BH，（即，（即莫爾條紋中兩條暗紋或兩條亮紋之間的距離）則有莫爾條紋中兩條暗紋或兩條亮紋之間的距離）則有2(sin/2)HWWB莫爾條紋莫爾條紋這里這里是弧度，如果夾角為是弧度，如果夾角為0.10.10 0，則，則=0.1/180=0.1/180* *,則則BH=573W,相當于把柵距放相當于把柵距放大了大了573倍。倍。位移檢測傳感器之光柵傳感器10運動方向

5、：當兩個光柵沿刻線垂直方向作相對移動時，莫運動方向：當兩個光柵沿刻線垂直方向作相對移動時，莫爾條紋則沿光柵刻線方向移動（兩者的運動方向相互垂直）。爾條紋則沿光柵刻線方向移動（兩者的運動方向相互垂直）。光柵運動方向改變，莫爾條紋的運動方向也作相應改變。光柵運動方向改變，莫爾條紋的運動方向也作相應改變。莫爾條紋的位移與光柵的移動成比例：莫爾條紋的位移與光柵的移動成比例：光柵每移動一個柵光柵每移動一個柵距距W，莫爾條紋移動一個條紋間距，莫爾條紋移動一個條紋間距BH；莫爾條紋具有位移放大作用：莫爾條紋具有位移放大作用：莫爾條紋的間距莫爾條紋的間距B與兩光柵與兩光柵條紋夾角之間關系為條紋夾角之間關系為B

6、H= W/,越小，越小， 則則BH越大。這相越大。這相當于把柵距當于把柵距 W放大了放大了 1/倍。倍。如對于如對于2525線線/mm/mm長光柵而言，長光柵而言，W=0.04mm,W=0.04mm,若若=0.016rad=0.016rad，則，則 BH =2.5mm =2.5mm(這樣，可把肉眼看不見的光柵位移變成為清晰可見的莫爾條紋這樣，可把肉眼看不見的光柵位移變成為清晰可見的莫爾條紋移動，可以用測量條紋的移動來檢測光柵的位移?？梢詫崿F(xiàn)移動，可以用測量條紋的移動來檢測光柵的位移。可以實現(xiàn)高靈敏的位移測量高靈敏的位移測量)莫爾條紋有如下特點莫爾條紋有如下特點位移檢測傳感器之光柵傳感器11當兩

7、個光柵沿刻線垂直方向作相對移動時，莫爾條紋當兩個光柵沿刻線垂直方向作相對移動時，莫爾條紋的光強度隨條紋移動近似按的光強度隨條紋移動近似按正弦規(guī)律正弦規(guī)律變化。光柵移動一變化。光柵移動一個柵距個柵距W，光強變化一個周期。通過光電元件，可將莫，光強變化一個周期。通過光電元件，可將莫爾條紋移動時光強的變化轉換為近似正弦變化的電信號，爾條紋移動時光強的變化轉換為近似正弦變化的電信號，如圖所示。如圖所示。U0UW/2oUm2W3W/2WxWxUUUm2sin0莫爾條紋有如下特點莫爾條紋有如下特點位移檢測傳感器之光柵傳感器12莫爾條紋具有平均光柵誤差的作用：莫爾條紋具有平均光柵誤差的作用：莫爾條紋莫爾條紋

8、由大量的光柵柵線共同形成，所以對光柵柵線的由大量的光柵柵線共同形成，所以對光柵柵線的刻劃誤差有平均作用。通過莫爾條紋所獲得的精刻劃誤差有平均作用。通過莫爾條紋所獲得的精度可以比光柵本身柵線的刻劃精度還要高。度可以比光柵本身柵線的刻劃精度還要高。莫爾條紋有如下特點莫爾條紋有如下特點莫爾條紋移過的條紋數(shù)等于光柵移過的柵線數(shù)。莫爾條紋移過的條紋數(shù)等于光柵移過的柵線數(shù)。如采用如采用100線線/mm光柵時，若光柵移動了光柵時，若光柵移動了xmm(即即移過移過100 x條光柵柵線時），則從光電元件前掠過條光柵柵線時），則從光電元件前掠過的莫爾條紋也是的莫爾條紋也是100 x條。條。 由于莫爾條紋間距比柵距

9、寬的多，所以能夠被光由于莫爾條紋間距比柵距寬的多，所以能夠被光敏元件識別。將此莫爾條紋產(chǎn)生的電脈沖信號計敏元件識別。將此莫爾條紋產(chǎn)生的電脈沖信號計數(shù)，就可知道移動的實際位移。數(shù)，就可知道移動的實際位移。位移檢測傳感器之光柵傳感器13 當兩個光柵沿刻線垂直方向作相對移動時，莫爾條紋則當兩個光柵沿刻線垂直方向作相對移動時，莫爾條紋則沿光柵刻線方向移動（兩者的運動方向相互垂直）。光柵每沿光柵刻線方向移動（兩者的運動方向相互垂直）。光柵每移動一個柵距移動一個柵距W，莫爾條紋移動一個條紋間距，莫爾條紋移動一個條紋間距BH，通過測量，通過測量莫爾條紋移過的數(shù)目，即可得出光柵的位移量。莫爾條紋移過的數(shù)目，即

10、可得出光柵的位移量。 光柵運動方向改變，莫爾條紋的運動方向也作相應改變。光柵運動方向改變，莫爾條紋的運動方向也作相應改變。查看莫爾條紋的上下移動方向，即可確定主光柵左右移動方查看莫爾條紋的上下移動方向，即可確定主光柵左右移動方向向. 莫爾條紋的光強度隨條紋移動近似按正弦規(guī)律變化。光莫爾條紋的光強度隨條紋移動近似按正弦規(guī)律變化。光柵移動一個柵距柵移動一個柵距W，光強變化一個周期。，光強變化一個周期。 因此可根據(jù)莫爾條紋移動的條紋數(shù)和方向，測出光柵移動因此可根據(jù)莫爾條紋移動的條紋數(shù)和方向，測出光柵移動的距離和方向。光柵傳感器就是根據(jù)這一原理，實現(xiàn)對位移的距離和方向。光柵傳感器就是根據(jù)這一原理，實現(xiàn)

11、對位移的檢測。的檢測。1. 長光柵位移傳感器的工作原理長光柵位移傳感器的工作原理位移檢測傳感器之光柵傳感器14n在作直線位移測量時，常把前面介紹的兩塊光柵在作直線位移測量時，常把前面介紹的兩塊光柵作成一個標尺光柵和一個指示光柵。作成一個標尺光柵和一個指示光柵。n標尺光柵是一個長條形光柵，光柵長度由所需量標尺光柵是一個長條形光柵，光柵長度由所需量程決定。指示光柵較短，通常根據(jù)測量光學系統(tǒng)程決定。指示光柵較短，通常根據(jù)測量光學系統(tǒng)的需要而定，一般與光學系統(tǒng)物鏡直徑相同。的需要而定，一般與光學系統(tǒng)物鏡直徑相同。n光柵條紋密度有光柵條紋密度有25條條/mm，50條條/mm、100條條/mm或更密，柵線

12、長度一般為或更密，柵線長度一般為612mm。2. 長光柵位移傳感器長光柵位移傳感器位移檢測傳感器之光柵傳感器1532411.標尺光柵 2.指示光柵3.光電元件 4.光源位移檢測傳感器之光柵傳感器162. 長光柵位移傳感器長光柵位移傳感器n根據(jù)不同的設計要求，光柵可以制成透射光柵根據(jù)不同的設計要求，光柵可以制成透射光柵和反射光柵。和反射光柵。n透射光柵的柵線刻制在透明材料上，要求較高透射光柵的柵線刻制在透明材料上，要求較高時，可以采用光學玻璃；而指示光柵最好采用時，可以采用光學玻璃；而指示光柵最好采用光學玻璃。光學玻璃。n反射光柵的柵線刻制在具有反射率很高的金屬反射光柵的柵線刻制在具有反射率很高

13、的金屬或鍍以金屬膜的玻璃上?；蝈円越饘倌さ牟Ａ?。位移檢測傳感器之光柵傳感器17n由于采用不同形式的光柵，光學系統(tǒng)也各不相由于采用不同形式的光柵，光學系統(tǒng)也各不相同，常采用的光學系統(tǒng)有：同，常采用的光學系統(tǒng)有：n(1)透射式光路透射式光路 n(2)反射式光路反射式光路3. 光學系統(tǒng)光學系統(tǒng)位移檢測傳感器之光柵傳感器18（1） 透射式光路透射式光路n光源光源5發(fā)出的光線經(jīng)準直發(fā)出的光線經(jīng)準直透鏡透鏡4變成平行光，入射變成平行光，入射到指示光柵到指示光柵3上，經(jīng)過指上，經(jīng)過指示光柵示光柵3和標尺光柵和標尺光柵2，再透射到光敏元件再透射到光敏元件1上。上。n一般標尺光柵固定不動，一般標尺光柵固定不動

14、，而光源、指示光柵和光而光源、指示光柵和光敏元件固定在被測位移敏元件固定在被測位移體上，莫爾條紋的移動體上，莫爾條紋的移動信號被光敏元件接收。信號被光敏元件接收。每當亮帶通過光敏元件每當亮帶通過光敏元件時，有一個相應的電信時，有一個相應的電信號輸出。號輸出。位移檢測傳感器之光柵傳感器19透射式光柵透射式光柵位移檢測傳感器之光柵傳感器20（2） 反射式光路反射式光路n光源光源1發(fā)出的光線經(jīng)聚光發(fā)出的光線經(jīng)聚光鏡鏡2及場鏡及場鏡4后以平行光后以平行光束射向指示光柵束射向指示光柵5上，再上，再經(jīng)標尺光柵經(jīng)標尺光柵6反射后形成反射后形成莫爾條紋，通過反射鏡莫爾條紋，通過反射鏡3和物鏡系統(tǒng)和物鏡系統(tǒng)7把

15、莫爾條紋把莫爾條紋的信號送入光敏元件的信號送入光敏元件8上上.n當指示光柵與標尺光柵當指示光柵與標尺光柵有相對位移時，光敏元有相對位移時，光敏元件可接收到移動的莫爾件可接收到移動的莫爾條紋信號。條紋信號。位移檢測傳感器之光柵傳感器21反射式光柵反射式光柵位移檢測傳感器之光柵傳感器22長光柵式位移傳感器的特點長光柵式位移傳感器的特點n長光柵位移傳感器的測長精度可達長光柵位移傳感器的測長精度可達0.53 m (3000mm范圍內范圍內)，分辨力可達，分辨力可達0.1 m,可進行無接觸測量可進行無接觸測量位移檢測傳感器之光柵傳感器23n用兩塊刻線數(shù)目相同，切線圓半徑分別為用兩塊刻線數(shù)目相同，切線圓半

16、徑分別為r1、r2的切向圓光柵同心放置，所產(chǎn)生的環(huán)形莫爾的切向圓光柵同心放置，所產(chǎn)生的環(huán)形莫爾條紋如圖所示條紋如圖所示4. 圓光柵圓光柵n其條紋間距為其條紋間距為21rrWRHB位移檢測傳感器之光柵傳感器24n用兩塊刻線數(shù)目相同的徑向圓光柵偏心放置，用兩塊刻線數(shù)目相同的徑向圓光柵偏心放置，偏心量為偏心量為e，這時形成不同曲率半徑的圓弧形，這時形成不同曲率半徑的圓弧形莫爾條紋如圖所示莫爾條紋如圖所示4. 圓光柵圓光柵n其條紋間距為其條紋間距為eWRHB位移檢測傳感器之光柵傳感器25n動光柵固定在轉軸上，因此，可將軸旋轉的角動光柵固定在轉軸上，因此，可將軸旋轉的角度量變換成莫爾條紋信號。通過光電轉

17、換元件，度量變換成莫爾條紋信號。通過光電轉換元件，將莫爾條紋的變化轉換成近似于正弦波形的電將莫爾條紋的變化轉換成近似于正弦波形的電信號。測角精度可達信號。測角精度可達0.15”，分辨力可達，分辨力可達0.1”，甚至更高。甚至更高。4. 圓光柵圓光柵位移檢測傳感器之光柵傳感器26二、光柵式位移傳感器4. 圓光柵n(1)切向圓光柵n(2)徑向圓光柵徑向圓光柵徑向圓光柵 切向圓光柵切向圓光柵4. 圓光柵圓光柵位移檢測傳感器之光柵傳感器27n由前面分析，光柵每移動一個柵距由前面分析，光柵每移動一個柵距W，莫爾條紋移，莫爾條紋移動一個條紋間距動一個條紋間距BH，光電元件輸出就變化一個周期，光電元件輸出就

18、變化一個周期2，經(jīng)信號轉換電路輸出一個脈沖，若按此進行計數(shù)，經(jīng)信號轉換電路輸出一個脈沖，若按此進行計數(shù)，則它的分辨力只有一個光柵柵距則它的分辨力只有一個光柵柵距W.n為了能夠分辨比為了能夠分辨比W更小的位移量，就要提高分辨力，更小的位移量，就要提高分辨力，一種方法是可以采用增加刻劃密度的方法來減少柵距，一種方法是可以采用增加刻劃密度的方法來減少柵距，但這種方法受到制造工藝或成本的限制，但這種方法受到制造工藝或成本的限制，如倘若要讀如倘若要讀出位移為出位移為0.1 m，勢必要求每毫米刻線，勢必要求每毫米刻線1萬條，這是萬條，這是目前工藝水平無法實現(xiàn)的。目前工藝水平無法實現(xiàn)的。5.細分技術細分技術

19、位移檢測傳感器之光柵傳感器28常用的細分方法有四倍頻細分法、十六倍常用的細分方法有四倍頻細分法、十六倍頻細分法、計算機細分法等。頻細分法、計算機細分法等。 5.細分技術細分技術n另一種方法是采用柵距細分技術，由于細另一種方法是采用柵距細分技術，由于細分后計數(shù)脈沖提高了分后計數(shù)脈沖提高了n n倍，所以細分又稱倍倍，所以細分又稱倍頻，細分后可以在不增加刻線數(shù)的情況下較頻，細分后可以在不增加刻線數(shù)的情況下較大地提高光柵的分辨力。大地提高光柵的分辨力。位移檢測傳感器之光柵傳感器29四倍頻細分法四倍頻細分法 在一個莫爾條紋寬度上并列放置四個光電元件，如右下在一個莫爾條紋寬度上并列放置四個光電元件，如右下

20、圖圖(a)所示，得到相位分別相差所示，得到相位分別相差/2四個正弦周期信號。用適四個正弦周期信號。用適當電路處理這些信號，使其合并得到如右下圖當電路處理這些信號，使其合并得到如右下圖 所示的脈沖所示的脈沖信號。每個脈沖分別和四個周期信號的零點相對應，則電脈信號。每個脈沖分別和四個周期信號的零點相對應，則電脈沖的周期反應了沖的周期反應了1/4個莫爾條紋寬度。用計數(shù)器對這一列脈個莫爾條紋寬度。用計數(shù)器對這一列脈沖信號計數(shù)，就可以讀到?jīng)_信號計數(shù)，就可以讀到1/4個莫爾條紋寬度的位移量，這個莫爾條紋寬度的位移量，這將是光柵固有分辨率的四倍。此種方法被稱為四倍頻細分法。將是光柵固有分辨率的四倍。此種方法

21、被稱為四倍頻細分法。位移檢測傳感器之光柵傳感器30n課堂練習位移檢測傳感器之光柵傳感器314 4、在下述位移傳感器中，適宜于測量大位移、在下述位移傳感器中，適宜于測量大位移的傳感器是（單一）的傳感器是（單一） A、電阻式傳感器、電阻式傳感器B、電感式傳感器、電感式傳感器C、壓電式傳感器、壓電式傳感器D、光柵式傳感器、光柵式傳感器位移檢測傳感器之光柵傳感器324 4、在下述位移傳感器中，適宜于測量大位移、在下述位移傳感器中，適宜于測量大位移的傳感器是（單一）的傳感器是（單一） D、光柵式傳感器、光柵式傳感器位移檢測傳感器之光柵傳感器331 1、若光柵式位移傳感器的光柵柵距為、若光柵式位移傳感器的

22、光柵柵距為0.04mm,0.04mm,柵線柵線的夾角為的夾角為1.81.80 0，則相鄰莫爾條紋的間距為（單一），則相鄰莫爾條紋的間距為（單一） A、0.022mmB、0.07mmC、1.27mmD、3.99mm位移檢測傳感器之光柵傳感器341111、若光柵式位移傳感器的光柵柵距為、若光柵式位移傳感器的光柵柵距為0.04mm,0.04mm,柵柵線的夾角為線的夾角為1.81.80 0，則相鄰莫爾條紋的間距為，則相鄰莫爾條紋的間距為 （單一）（單一） C、1.27mmmmWHB27.1*180/8 .104.0位移檢測傳感器之光柵傳感器352323、四倍細分式光柵式位移傳感檢測系統(tǒng)，當用、四倍細分

23、式光柵式位移傳感檢測系統(tǒng)，當用4 4個光電元個光電元件接收莫爾條紋的移動信號時，分辨力為件接收莫爾條紋的移動信號時，分辨力為0.004/mm0.004/mm脈沖，則脈沖，則光柵的柵距為（光柵的柵距為（ ）（模擬一）（模擬一）位移檢測傳感器之光柵傳感器362323、四倍細分式光柵式位移傳感檢測系統(tǒng)，當用、四倍細分式光柵式位移傳感檢測系統(tǒng)，當用4 4個光電元個光電元件接收莫爾條紋的移動信號時，分辨力為件接收莫爾條紋的移動信號時，分辨力為0.004/mm0.004/mm脈沖，則脈沖，則光柵的柵距為（光柵的柵距為（ ）（模擬一）（模擬一）用四倍細分，則分辨力是光柵柵距的用四倍細分，則分辨力是光柵柵距的

24、1/41/4，則光柵柵距為分，則光柵柵距為分辨力的辨力的4 4倍。倍。4 4* *0.004=0.016mm0.004=0.016mm位移檢測傳感器之光柵傳感器379 9、四倍細分光柵式位移傳感檢測系統(tǒng)，如果柵線為、四倍細分光柵式位移傳感檢測系統(tǒng)，如果柵線為5050線線/mm,/mm,當用當用4 4個光電元件接收莫爾條紋的移動信號時個光電元件接收莫爾條紋的移動信號時, ,則分辨率為則分辨率為（ ）（模擬一）（模擬一）位移檢測傳感器之光柵傳感器389 9、四倍細分光柵式位移傳感檢測系統(tǒng)，如果柵線為、四倍細分光柵式位移傳感檢測系統(tǒng)，如果柵線為5050線線/mm,/mm,當用當用4 4個光電元件接收

25、莫爾條紋的移動信號時個光電元件接收莫爾條紋的移動信號時, ,則分辨率為則分辨率為（ ）（模擬一）（模擬一）分辨率是一個光柵柵距，即分辨率是一個光柵柵距，即1/50=0.02mm1/50=0.02mm，若用四個光電元，若用四個光電元件，即經(jīng)過四倍細分后，則光柵柵距為分辨力的件，即經(jīng)過四倍細分后，則光柵柵距為分辨力的4 4倍。分辨倍。分辨力為力為0.02/4=0.005mm0.02/4=0.005mm位移檢測傳感器之光柵傳感器3923、為了提高檢測系統(tǒng)的分辨率，需要對磁柵、容柵等大位、為了提高檢測系統(tǒng)的分辨率，需要對磁柵、容柵等大位移測量傳感器的輸出信號進行（移測量傳感器的輸出信號進行（ ）（模擬

26、四）（模擬四）位移檢測傳感器之光柵傳感器4023、為了提高檢測系統(tǒng)的分辨率，需要對磁柵、容柵等大位、為了提高檢測系統(tǒng)的分辨率，需要對磁柵、容柵等大位移測量傳感器的輸出信號進行（移測量傳感器的輸出信號進行（ 細分細分 ）（模擬四）（模擬四）位移檢測傳感器之光柵傳感器4131、已知光柵式位移傳感器的柵線為、已知光柵式位移傳感器的柵線為50線線/mm，主，主光柵和指示光柵的柵線的夾角為光柵和指示光柵的柵線的夾角為0.2。(模擬四）模擬四）（1）求光柵莫爾條紋的間距，及莫爾條紋的放大）求光柵莫爾條紋的間距，及莫爾條紋的放大系數(shù)；系數(shù)；（2）測量時，若光電元件接收到莫爾條紋）測量時，若光電元件接收到莫爾

27、條紋10個周個周期的光強信號，求測得的位移是多少？期的光強信號，求測得的位移是多少？（3）若采用四倍細分電路，可得到的分辨力是多）若采用四倍細分電路，可得到的分辨力是多少？少？位移檢測傳感器之光柵傳感器4231、已知光柵式位移傳感器的柵線為、已知光柵式位移傳感器的柵線為50線線/mm，主，主光柵和指示光柵的柵線的夾角為光柵和指示光柵的柵線的夾角為0.2。（1）求光柵莫爾條紋的間距，及莫爾條紋的放大）求光柵莫爾條紋的間距，及莫爾條紋的放大系數(shù)；系數(shù)；（2）測量時，若光電元件接收到莫爾條紋）測量時，若光電元件接收到莫爾條紋10個周個周期的光強信號，求測得的位移是多少？期的光強信號，求測得的位移是多

28、少？（3）若采用四倍細分電路，可得到的分辨力是多）若采用四倍細分電路，可得到的分辨力是多少？少？mmWHB73.5*180/2 .050/15 .28650/173.5Amm005.04501/分辨率位移檢測傳感器之光柵傳感器4310、若某光柵柵線為、若某光柵柵線為25線線/mm，則四倍細分后，其，則四倍細分后，其分辨力是多少？分辨力是多少？A、0.001mm/脈沖脈沖B、0.005mm/脈沖脈沖C、0.01mm/脈沖脈沖D、0.02mm/脈沖脈沖位移檢測傳感器之光柵傳感器4410、若某光柵柵線為、若某光柵柵線為25線線/mm，則四倍細分后，其，則四倍細分后，其分辨力是多少？分辨力是多少？(密押二）密押二）=1/25/4=0.01mmC、0.01mm/脈沖脈沖