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LOGO基于氣浮支承引線鍵合定位基于氣浮支承引線鍵合定位平臺(tái)設(shè)計(jì)平臺(tái)設(shè)計(jì) n指導(dǎo)教師：盧志偉指導(dǎo)教師：盧志偉n班級(jí)：班級(jí)：0808機(jī)械機(jī)械2 2班班n學(xué)生：學(xué)生：趙趙 魁魁n學(xué)號(hào)：學(xué)號(hào)：0810208022208102080222選題系統(tǒng)的背景及意義選題系統(tǒng)的背景及意義 隨著技術(shù)的進(jìn)步和相關(guān)行業(yè)的發(fā)展，高加速度高隨著技術(shù)的進(jìn)步和相關(guān)行業(yè)的發(fā)展，高加速度高精度定位平臺(tái)是引線鍵合機(jī)的核心部件精度定位平臺(tái)是引線鍵合機(jī)的核心部件,決定鍵合的決定鍵合的速度和質(zhì)量速度和質(zhì)量,進(jìn)而影響芯片的成本與可靠性。隨著芯進(jìn)而影響芯片的成本與可靠性。隨著芯片集成度的不斷增大片集成度的不斷增大,管腳數(shù)量迅速增多管腳數(shù)量迅速增多,引線間距引線間距日益減小日益減小,定位平臺(tái)的性能已經(jīng)成為引線鍵合工藝進(jìn)定位平臺(tái)的性能已經(jīng)成為引線鍵合工藝進(jìn)一步發(fā)展的瓶頸。由于空氣的粘性低，不易發(fā)生爬一步發(fā)展的瓶頸。由于空氣的粘性低，不易發(fā)生爬行，振動(dòng)也小，熱穩(wěn)定性好；使用壽命是半永久性行，振動(dòng)也小，熱穩(wěn)定性好；使用壽命是半永久性的的,與液體靜壓導(dǎo)軌相比，它不污染環(huán)境。與液體靜壓導(dǎo)軌相比，它不污染環(huán)境。論文的結(jié)構(gòu)和主要內(nèi)容論文的結(jié)構(gòu)和主要內(nèi)容u本論文的主要內(nèi)容是設(shè)計(jì)定位平臺(tái)的設(shè)計(jì)。定位平本論文的主要內(nèi)容是設(shè)計(jì)定位平臺(tái)的設(shè)計(jì)。定位平臺(tái)計(jì)過(guò)程可分為總體方案設(shè)計(jì)，完成原理方案設(shè)計(jì)臺(tái)計(jì)過(guò)程可分為總體方案設(shè)計(jì)，完成原理方案設(shè)計(jì)和結(jié)構(gòu)方案設(shè)計(jì)；對(duì)引線鍵合定位平臺(tái)和結(jié)構(gòu)方案設(shè)計(jì)；對(duì)引線鍵合定位平臺(tái)X X、Y Y兩運(yùn)動(dòng)兩運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的相互運(yùn)動(dòng)方式進(jìn)行設(shè)計(jì)；對(duì)引線鍵合定位平導(dǎo)軌的相互運(yùn)動(dòng)方式進(jìn)行設(shè)計(jì)；對(duì)引線鍵合定位平臺(tái)的氣浮導(dǎo)軌進(jìn)行設(shè)計(jì)；對(duì)引線鍵合定位平臺(tái)驅(qū)動(dòng)臺(tái)的氣浮導(dǎo)軌進(jìn)行設(shè)計(jì)；對(duì)引線鍵合定位平臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置、傳動(dòng)裝置、供氣裝置、測(cè)量等裝置進(jìn)行設(shè)計(jì)。裝置、傳動(dòng)裝置、供氣裝置、測(cè)量等裝置進(jìn)行設(shè)計(jì)。設(shè)計(jì)分析設(shè)計(jì)分析u定位平臺(tái)機(jī)械部分方案確定定位平臺(tái)機(jī)械部分方案確定 u傳動(dòng)：滾珠絲杠螺母副傳動(dòng)：滾珠絲杠螺母副 支撐：雙推支撐：雙推-簡(jiǎn)支式簡(jiǎn)支式 滑動(dòng)導(dǎo)軌滑動(dòng)導(dǎo)軌 伺服電機(jī)：步進(jìn)電動(dòng)機(jī)伺服電機(jī)：步進(jìn)電動(dòng)機(jī)u 采用滾珠絲杠螺母副，可實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)與直線運(yùn)動(dòng)相互轉(zhuǎn)采用滾珠絲杠螺母副，可實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)與直線運(yùn)動(dòng)相互轉(zhuǎn)換，在具有螺旋槽的絲杠螺母中裝有滾珠作為中間傳動(dòng)元件，換，在具有螺旋槽的絲杠螺母中裝有滾珠作為中間傳動(dòng)元件，以減少摩擦。優(yōu)點(diǎn)是摩擦系數(shù)小，傳動(dòng)效率高，靈敏度高，傳以減少摩擦。優(yōu)點(diǎn)是摩擦系數(shù)小，傳動(dòng)效率高，靈敏度高，傳動(dòng)平穩(wěn)，不易產(chǎn)生滑行，傳動(dòng)精度和定位精度高；磨損小，使動(dòng)平穩(wěn)，不易產(chǎn)生滑行，傳動(dòng)精度和定位精度高；磨損小，使用壽命長(zhǎng)，精度保持性好。雙推用壽命長(zhǎng)，精度保持性好。雙推-簡(jiǎn)支式支撐減少絲杠熱變形簡(jiǎn)支式支撐減少絲杠熱變形的影響。的影響。空氣靜壓導(dǎo)軌的方案設(shè)計(jì)空氣靜壓導(dǎo)軌的方案設(shè)計(jì) u重力封閉式導(dǎo)軌重力封閉式導(dǎo)軌u優(yōu)點(diǎn)：這種形式的導(dǎo)軌用工作臺(tái)的質(zhì)量和空氣靜壓優(yōu)點(diǎn)：這種形式的導(dǎo)軌用工作臺(tái)的質(zhì)量和空氣靜壓保持平衡，以維護(hù)導(dǎo)軌的固定間隙。其結(jié)構(gòu)較簡(jiǎn)單，保持平衡，以維護(hù)導(dǎo)軌的固定間隙。其結(jié)構(gòu)較簡(jiǎn)單，零件的高精度也容易實(shí)現(xiàn)。零件的高精度也容易實(shí)現(xiàn)。u缺點(diǎn)：支承剛性低，故多用于載荷變化范圍不大的缺點(diǎn)：支承剛性低，故多用于載荷變化范圍不大的設(shè)備上。設(shè)備上。重量封閉式導(dǎo)軌重量封閉式導(dǎo)軌 u空氣靜壓導(dǎo)軌副是由氣墊和承導(dǎo)面組成的。從氣源空氣靜壓導(dǎo)軌副是由氣墊和承導(dǎo)面組成的。從氣源送來(lái)的清潔、干燥、恒壓的空氣流經(jīng)節(jié)流器進(jìn)入氣送來(lái)的清潔、干燥、恒壓的空氣流經(jīng)節(jié)流器進(jìn)入氣腔并沿封氣面向外流出，在封氣面上形成具有承載腔并沿封氣面向外流出，在封氣面上形成具有承載能力的氣膜。氣腔與封氣面處氣膜的承載能力之和能力的氣膜。氣腔與封氣面處氣膜的承載能力之和將氣墊及與之相連的工作臺(tái)浮起。工作中承載能力將氣墊及與之相連的工作臺(tái)浮起。工作中承載能力與載荷處于平衡狀態(tài)，氣膜厚度保持不變，從而實(shí)與載荷處于平衡狀態(tài)，氣膜厚度保持不變，從而實(shí)現(xiàn)氣體摩擦。當(dāng)載荷變化時(shí)，氣膜的厚度隨載荷增現(xiàn)氣體摩擦。當(dāng)載荷變化時(shí)，氣膜的厚度隨載荷增大而減小，氣膜一方面起承載作用，另一方面也起大而減小，氣膜一方面起承載作用，另一方面也起著潤(rùn)滑作用。著潤(rùn)滑作用。空氣靜壓導(dǎo)軌的工作原理及特點(diǎn)空氣靜壓導(dǎo)軌的工作原理及特點(diǎn)致謝致謝 大學(xué)學(xué)習(xí)生活即將結(jié)束。在此，大學(xué)學(xué)習(xí)生活即將結(jié)束。在此，非常感謝大學(xué)四年來(lái)所非常感謝大學(xué)四年來(lái)所有的代課老師有的代課老師和我的同學(xué)和我的同學(xué)們們，他們?cè)谖页砷L(zhǎng)過(guò)程中給予了我，他們?cè)谖页砷L(zhǎng)過(guò)程中給予了我很大的幫助。本文能夠順利完成，要特別感謝我的導(dǎo)師很大的幫助。本文能夠順利完成，要特別感謝我的導(dǎo)師盧志盧志偉偉老師，老師，向?qū)煴硎菊\(chéng)摯的感謝，并致以崇高的敬意！向?qū)煴硎菊\(chéng)摯的感謝，并致以崇高的敬意！謝謝謝謝各位老師！各位老師！