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1、第 2章 應變式傳感器 2.1 電阻應變效應 2.2 應變計的主要特性 2.3 應變計的粘貼 2.4 電橋原理及電阻應變計橋路 2.5 溫度誤差及其補償 2.6 電阻應變儀 2.7 應變式傳感器 2.8 幾種新型的微應變式傳感器 第 2章 應變式傳感器 第 2章 應變式傳感器 2.1 電阻應變效應 應變式傳感器是利用電阻應變效應做成的傳感器 , 是常用的傳感器之一 。 應變式傳感器的核心元件是電 阻應變計 , 本章將先以較大篇幅對其加以介紹 , 然后再介 。 電阻應變計 , 也稱應變計或應變片 , 是一種能將機械 構件上的應變的變化轉(zhuǎn)換為電阻變化的傳感元件 。 圖 2.1為其構造簡圖 。 排列

2、成網(wǎng)狀的高阻金屬絲 、 柵狀金 屬箔或半導體片構成的敏感柵 1, 用粘合劑貼在絕緣的基 片 2上 。 敏感柵上貼有蓋片 （ 即保護片 ） 3。 第 2章 應變式傳感器 電阻絲較細 , 一般在 0.0150.06 mm, 其兩端焊有較 粗的低阻鍍錫銅絲 （ 0.10.2mm） 4作為引線 , 以便與測 量電路連接 。 圖 2.1中 , l稱為應變計的標距 , 也稱 （ 基 ） 柵長 , a稱為 （ 基 ） 柵寬 , l a稱為應變計的使用面積 。 第 2章 應變式傳感器 圖 2.1 電阻應變計構造簡圖 4 3 1 2 a l 第 2章 應變式傳感器 2.1.1 電阻應變效應 長為 l、 截面積為

3、 A、 電阻率為 的金屬或半導體絲 , 電阻 若導電絲在軸向受到應力的作用 , 其長度變化 l, 截 面積變化 A, 電阻率變化 , 而引起電阻變化 R, 則 設電阻絲為圓形截面 , 直徑為 d, 因 lR A R l A R l A 2 4 dA 第 2章 應變式傳感器 則 d d A A 2 / / dd ll 有 0( 1 2 ) R l lk R l l 式中 0 /12R R p pk l l l l 第 2章 應變式傳感器 為單根導電絲的靈敏系數(shù) , 表示當發(fā)生應變時 , 其電阻 變化率與其應變的比值 。 k0的大小由兩個因素引起 , 一項是 由于導電絲的幾何尺寸的改變所引起 ,

4、由 （ 1+2） 項表示 , 另一項是導電絲受力后 , 材料的電阻率 發(fā)生變化而引起 , 由 (/)/(l/l)項表示 。 引用 T p p 式中 , 應力 其中 , 表示壓阻系數(shù) , =l/l為應變 。 則有 l lEET 第 2章 應變式傳感器 對金屬來說 , E很小 , 可忽略不計 , =0.25 0.5, 故 k 0=1+21.5 2。 對半導體而言 , E比 1+2大得多 , 壓阻系 數(shù) =(40-50) 10-11m2/N, 楊 氏 模 量 E=1.67 1011Pa, 則 E50 100, 故 （ 1+2） 可以忽略不計 。 可見 , 半導體靈敏 度要比金屬大 50100倍 。

5、0 / 12RRkE 第 2章 應變式傳感器 2.1.2 應變計的分類 應變計有很多品種系列 : 從尺寸上講 , 長的有幾百 mm , 短的僅 0.2 mm; 由結構形式上看 , 有單片 、 雙片 、 應變花和 各種特殊形狀的圖案 ; 就使用環(huán)境上說 , 有高溫 、 低溫 、 水 、 核輻射 、 高壓 、 磁場等 ; 而安裝形式 , 有粘貼 、 非粘貼 、 焊 接 、 火焰噴涂等 。 主要的分類方法是根據(jù)敏感元件材料的不同 , 將應變計 分為金屬式和半導體式兩大類 。 從敏感元件的形態(tài)又可進 一步分類如下 : 第 2章 應變式傳感器 應變計 金屬屬性 半導體式 體形 薄膜型 絲式 箔式 紙基

6、膠基 體型 薄模型 擴散型 外延型 Pn結及其它形式 第 2章 應變式傳感器 半導體式體型薄膜型 、 擴散型 、 外延型 、 PN結及其他 形式 金屬電阻應變計常見的形式有絲式 、 箔式 、 薄膜式 等 。 絲式應變計是最早應用的品種 。 金屬絲彎曲部分可作成圓弧 、 銳角或直角 , 如圖 2.2所 示 。 彎曲部分作成圓弧 （ U） 形是最早常用的一種形式 , 制 作簡單但橫向效應較大 。 直角 （ H） 形兩端用較粗的鍍銀 銅線焊接 , 橫向效應相對較小 , 但制作工藝復雜 , 將逐漸被橫 向效應小 、 其他方面性能更優(yōu)越的箔式應變計所代替 。 第 2章 應變式傳感器 ( a ) ( b

7、) ( c ) 圖 2.2 第 2章 應變式傳感器 箔式應變計的線柵是通過光刻 、 腐蝕等工藝制成 很薄的金屬薄柵 （ 厚度一般在 0.003 0.01mm） 。 與絲 式應變計相比有如下優(yōu)點 : (1) 工藝上能保證線柵的尺寸正確 、 線條均勻 , 大 批量生產(chǎn)時 , 阻值離散程度小 。 (2) 可根據(jù)需要制成任意形狀的箔式應變計和微型 小基長 （ 如基長為 0.1 mm） 的應變計 。 第 2章 應變式傳感器 (3) 敏感柵截面積為矩形 , 表面積大 , 散熱好 , 在相同 截面情況下能通過較大電流 。 (4) 厚度薄 , 因此具有較好的可撓性 , 它的扁平狀箔柵 有利于形變的傳遞 。 (

8、5) 蠕變小 , 疲勞壽命高 。 (6) 橫向效應小 。 (7) 便于批量生產(chǎn) , 生產(chǎn)效率高 。 圖 2.3畫出了幾種箔式應變計 。 第 2章 應變式傳感器 圖 2.3 幾種箔式應變計 ( a ) ( b ) ( c ) ( d ) ( e ) ( f ) 第 2章 應變式傳感器 薄膜式應變計是采用真空濺射或真空沉積技術 , 在薄 的絕緣基片上蒸鍍金屬電阻薄膜 （ 厚度在零點幾納米到 幾百納米 ） , 再加上保護層制成 。 其優(yōu)點是靈敏度高 , 允 許通過的電流密度大 , 工作溫度范圍廣 , 可工作于 -197 317 C, 也可用于核輻射等特殊情況下 。 第 2章 應變式傳感器 制作應變計

9、敏感元件的金屬材料應有如下要求 : (1) k0大 , 并在盡可能大的范圍內(nèi)保持常數(shù) 。 (2) 電阻率 大 。 這樣 , 在一定電阻值要求下 , 同樣 線徑 , 所需電阻絲長度短 。 (3) 電阻溫度系數(shù)小 。 高溫使用時 , 還要求耐高溫氧 化性能好 。 (4) 具有良好的加工焊接性能 。 第 2章 應變式傳感器 常用的敏感元件材料是康銅（銅鎳合金）、鎳鉻合金、 鐵鉻鋁合金、 鐵鎳鉻合金等。 常溫下使用的應變計多由康 銅制成。 半導體應變計應用較普遍的有體型、薄膜型、擴 散型、外延型等。體型半導體應變計是將晶片按一定取向 切片、研磨、再切割成細條 , 粘貼于基片上制作而成。幾種 體型半導體

10、應變計示意圖如圖 2.4所示。 第 2章 應變式傳感器 圖 2.4 體型半導體應變計示意圖 基片 晶片 帶狀引線 P - Si N - Si 第 2章 應變式傳感器 薄膜型半導體應變計是利用真空沉積技術將半導體 材料沉積于絕緣體或藍寶石基片上制成的。 擴散型半導體應變計是將 P型雜質(zhì)擴散到高阻的 N 型硅基片上 , 形成一層極薄的敏感層制成的。 外延型半導體應變計是在多晶硅或藍寶石基片上外 延一層單晶硅制成的 。 半導體應變計有如下優(yōu)點 : 第 2章 應變式傳感器 (1) 靈敏度高。 比金屬應變計的靈敏度約大 50100倍。 工作時 , 可不必用放大器就可用電壓表或示波器等簡單儀 (2) 體積

11、小 , 耗電省 。 (3) 由于具有正 、 負兩種符號的應力效應 （ 即在拉伸時 P型硅應變計的靈敏度系數(shù)為正值 ; 而 N型硅應變計的靈敏 度系數(shù)為負值 。 (4) 機械滯后小 , 可測量靜態(tài)應變 、 低頻應變等 。 第 2章 應變式傳感器 2.1.3 應變計型號命名規(guī)則 應變計類別 : B T 基底材料類別 : F H A B玻璃纖維浸膠 標稱電阻（ ） : 120 175 350 500 700 1000 1500 應變計柵長 （ mm） : 3 第 2章 應變式傳感器 敏感柵結構形狀 : AA HA45 GB FG KA 材料線膨脹系數(shù) : 銅 Cu11 鋁 Al23 不銹鋼 16 第

12、 2章 應變式傳感器 可自補償蠕變標號 : T5 T3 T1 T8 T6 T4 T2 T0 N2 N4 N6 N8 N0 N1 N3 N5 N7 N9 蠕變由負到正 。 舉例 : B F 350-3 AA 23 T0 （ 箔式 , 酚醛類基底材料 , 標 稱電阻 350 , 應變計柵長 3 mm, 單軸片 , 材料線膨脹系數(shù) 鋁 Al 23, 可自補償蠕變標號 T0。 ） 第 2章 應變式傳感器 2.2 應變計的主要特性 應變計是一種重要的敏感元件 。 首先 , 它在實驗應力分 析中是測量應變和應力的主要傳感元件 ; 其次 , 某些其他類 型的傳感器 , 如膜片式壓力傳感器 、 加速度計 、

13、線位移傳感 器等 , 也經(jīng)常使用應變計作為機電轉(zhuǎn)換元件或敏感元件 , 廣 泛地應用于工程測量和科學實驗中 。 第 2章 應變式傳感器 應變計之所以成為重要的敏感元件 , 主要由于具有 如下優(yōu)點 : (1) 測量應變的靈敏度和精確度高 。 能測 1 2微應 變 （ 1 10-6 mm/mm） 的應變 。 誤差一般可小于 1%。 精度可達 0.015%FS（ 普通精度可達 0.05 %FS） 。 (2) 測量范圍大。 從彈性變形一直可測至塑性變形。 變形范圍從 1% 20% 。 第 2章 應變式傳感器 (3) 尺寸小 （ 超小型應變計的敏感柵尺寸為 0.2mm 2.5 mm） , 重量輕 , 對試

14、件工作狀態(tài)和應力分布影響很小 。 既可 用于靜態(tài)測量 , 又可用于動態(tài)測量 , 且具有良好的動態(tài)響應 （ 可測幾十甚至上百赫的動態(tài)過程 ） 。 (4) 能適應各種環(huán)境 。 可以在高溫 、 超低壓 、 高壓 、 水 下 、 強磁場以及輻射等惡劣環(huán)境下使用 。 第 2章 應變式傳感器 (5) 價格低廉 、 品種多樣 , 便于選擇和大量使用 。 應變計有如下缺點 : 在大應變下具有較大的非線 性 , 半導體應變計的非線性更為明顯 ; 輸出信號較微弱 , 故抗干擾能力較差 。 應變式傳感器的性能在很大程度 上取決于應變計的性能 。 下面就來討論應變計的主要 特性 。 第 2章 應變式傳感器 2.2.1

15、 應變計的靈敏度系數(shù) 金屬電阻絲的電阻相對變化與它所感受的應變之間具 有線性關系 , 2.1.1節(jié)中已用靈敏度系數(shù) k0表示這種關系 。 金 屬絲做成應變計后 , 由于基片 、 粘合劑以及敏感柵的橫向效 應 , 電阻應變特性與單根金屬絲將有所不同 , 必須重新用實 驗來測定 。 實驗是按規(guī)定的統(tǒng)一標準進行的 。 電阻應變計 貼在一維力作用下的試件上 , 例如受軸向拉壓的直桿 、 純彎 梁等 。 第 2章 應變式傳感器 試件材料用泊松系數(shù) =0.285的鋼。用精密電阻電 橋或其他儀器測出應變計相對電阻變化 , 再用其他測應 變的儀器測定試件的應變 , 得出電阻應變計的電阻 應 變特性。實驗證明

16、, 電阻應變計的電阻相對變化 R/R與 應變 l/l=之間在很大范圍內(nèi)是線性的 , 即 KRR RRK / 第 2章 應變式傳感器 式中 , k為電阻應變計的靈敏度系數(shù) 。 因一般應變計粘貼到試件上后不能取下再用 , 只能在 每批產(chǎn)品中提取一定百分比 （ 如 5%） 的產(chǎn)品進行測定 , 取其平均值作為這一批產(chǎn)品的靈敏度系數(shù) 。 這就是產(chǎn)品 包裝盒上注明的靈敏度系數(shù) , 或稱 “ 標稱靈敏度系數(shù) ” 。 第 2章 應變式傳感器 2.2.2 橫向效應 實驗表明 , 應變計的靈敏度 k恒小于金屬線材的靈敏度系 數(shù) k0。 其原因除了粘合劑 、 基片傳遞變形失真外 , 主要是由 于存在橫向效應 。 敏

17、感柵由許多直線及圓角組成 , 如圖 2.5所示 。 拉伸被測 試件時 , 粘貼在試件上的應變計 , 被沿應變計長度方向拉伸 , 產(chǎn)生縱向拉伸應變 x, 應變計直線段電阻將增加 。 但是在圓 弧段上 , 沿各微段 （ 圓弧的切向 ） 的應變并不是 x, 與直線段 上同樣長的微段所產(chǎn)生的電阻變化不同 。 第 2章 應變式傳感器 l x y 圖 2.5 第 2章 應變式傳感器 最明顯的是在 =/2 垂直方向的微段 , 按泊松比關 系產(chǎn)生壓應變 -y。 該微段電阻不僅不增加 , 反而減少 。 在圓弧的其他各微段上 , 感受的應變是由 +x變化到 - y 的 。 這樣 , 圓弧段的電阻變化 , 顯然將小

18、于同樣長度沿 x 方向的直線段的電阻變化 。 第 2章 應變式傳感器 因此 , 將同樣長的金屬線材做成敏感柵后 , 對同樣應 變 , 應變計敏感柵的電阻變化較小 , 靈敏度有所降低 。 這 種現(xiàn)象稱為應變計的橫向效應 。 下面計算橫向效應引起的誤差 。 由彈性力學知 , 對平面問題 , 如果已知任一點 P處三個 應變分量 x, y, xy, 則任何斜向微小線段的正應變 式中 , l、 m 為斜向小線段的方向余弦 。 如圖 2.6 所示 , 22N x y x yl m l m 第 2章 應變式傳感器 圖 2.6 斜向小線段的方向余弦 d x y y r d l r d x O 第 2章 應變式

19、傳感器 則 采用半角公式 22 c o s , c o s( ) si n 2 c o s si n si n c o sN x y x y lm 22 1 c o s 2 1 c o s 2c o s , si n , 2 si n c o s si n 2 22 則 xy yxyx N 2s i n 2 12c o s 22 第 2章 應變式傳感器 當電阻絲受到 x, y, xy作用時 , 半圓部分的伸長為 00 0 1 c o s 2 si n 2 2 2 2 22 r s N N x y x y xy x y x y s l dl r d rd rl 式中 , ls為半圓弧長 , r為

20、圓半徑 。 設應變計一個直線 段的伸長為 l1=xl1 (l1為直線段長度 ) 若有 n 個直線段 , 而半圓弧共有 (n-1)個 , 那么全長為 L=n l1+(n-1) ls 第 2章 應變式傳感器 整個應變計電阻絲受 x, y, xy作用后的總伸長為 因電阻的變化與電阻絲之伸長有如下關系 11( 1 ) ( 1 ) 2 xy s x sL n l n l n l n l L Lk R R 0 則得 2)1(0 1 0 yxs x L lnk L lnk R R 1 00 2 ( 1 ) 2 ( 1 ) 22 ss Xy nl n l n lkk LL 第 2章 應變式傳感器 設 1 00

21、 2 ( 1 ) ( 1 ), 22 ss xy nl n l n lk k k k LL 可寫成對其他型式應變計也適用的一般形式 x x y y R kk R ()x x yR kHR 式中 , kx為對軸向應變的靈敏度系數(shù) , 它代表 y=0 時 , 敏感柵電阻相對變化與 x之比 , ky為對橫向應變的靈敏度系 數(shù) , 它代表 x=0 時 , 敏感柵電阻相對變化與 y之比 。 因為 yx 第 2章 應變式傳感器 xxx kHukR R )1( 稱為橫向效應系數(shù) 。 可見 ls（ r） 愈小 , l1愈大 , H愈小 。 即敏感柵愈窄 , 基長愈長的應變計 , 其橫向效應引起的誤 差越小 。

22、 00( 1 ) ( 1 ) ( )xxk k H k H k k 因為 第 2章 應變式傳感器 2.2.3 應變計的動態(tài)特性 在測量頻率較高的動態(tài)應變時 , 應考慮到它的動態(tài)響應 特性 。 在動態(tài)情況下 , 應變以波動形式在材料中傳播 , 傳 播速度為聲速 。 應力波從試件通過膠層 、 基片傳到敏感 柵需要一定時間 。 沿應變計長度方向經(jīng)過敏感柵需要更長 一些的時間 。 敏感柵電阻的變化是對某一瞬時作用于其上 應力的平均值的反應 。 鋼材聲速為 5000m/s, 膠層聲速為 1000m/s 。 膠層和基片的總厚度約為 0.05mm, 由試件經(jīng)過膠層和 基片傳到敏感柵的時間約為 5 10-8s

23、, 可以忽略不計 。 然 而 , 當應變波沿敏感柵長度方向傳播的影響 , 應加以考慮 。 第 2章 應變式傳感器 圖 2.7(a)的階躍波沿敏感柵軸向傳播時 , 由于應變波通過 敏感柵需要一定時間 , 當階躍波的躍起部分通過敏感柵全部 長度后 , 電阻變化才達到最大值 。 應變計的理論響應特性如 圖 2.7(b)所示 。 由于應變計粘合層對應變中高次諧波的衰減 作用 , 實際波形如圖 2.7(c)所示 。 如以輸出從最大值的 10%上 升到 90%的這段時間為上升時間 , 則 v Lt k 8.0 可測頻率 0.35 , k f t ,44.08.0 35.0 LvLvf 第 2章 應變式傳感

24、器 圖 2.7 階躍應變波通過敏感柵及其波形圖 90% 1 0 0 % t k 10% t k 0 . 8 L t s ( a ) ( b ) ( c ) L 第 2章 應變式傳感器 實際上 tk值是很小的 。 例如 , 應變計基長 L=20mm, 應變 波速 v=5000m/s時 , tk=3.2 10-6s, f=110 kHz。 當測量按正弦規(guī)律變化的應變波時 , 由于應變計反映的應 變波形 , 是應變計線柵長度內(nèi)所感受應變量的平均值 , 因此應 變計反應的波幅將低于真實應變波 , 從而帶來一定誤差 。 顯 然 , 這種誤差將隨應變計基長的增加而加大 。 當基片一定時 將隨頻率的增加而加

25、大 。 圖 2.8 表示應變計正處于應變波達 到最大值時的瞬時情況 。 應變波的波長為 , 應變計的基長為 L, 兩端點的坐標為 x1和 x2, 而 此時應 變計在其基長 L內(nèi)測得的平均應變 p達到最大值 。 其值為 1 ,42 Lx , 242 Lx 第 2章 應變式傳感器 L x 1 x 2 0 x 0 s i n 2 x 圖 2.8 第 2章 應變式傳感器 2 1 0 0 21 21 2 sin 22 (c o s co s ) 2 x x p xd x xx x x L 0 sin sin L L LL 設 = , 因而應變波幅測量的相對誤差 e為 L 2 0 2 0 s i n 11

26、 ( ) 66 p Le 因為 = elvffv 6, 所以 第 2章 應變式傳感器 對于鋼材 v =5000m/s, 若要 e=1%時 , 對 L=1mm的應變 計 , 其允許的最高工作頻率為 由上式可知 , 測量誤差 e與應變波長對基長的相對比值 n=/L有關 , 其關系曲線如圖 2.9所示 。 /L愈大 , 誤差 e愈小 。 一般可取 /L=1020, 其誤差 e小于 1.60.4%。 又有 f=v/(nL)。 即 n愈大 , 工作頻率愈高 。 65 1 0 6 0 . 0 1 3 9 01f kH z 第 2章 應變式傳感器 0 5 10 15 20 5 10 15 20 25 e %

27、 L 圖 2.9 第 2章 應變式傳感器 2.2.4 其他特性參數(shù) 1. 線性度 試件的應變 和電阻的相對變化 R/R, 在理論上呈線性 關系 。 但實際上 , 在大應變時 , 會出現(xiàn)非線性關系 。 應變計 的非線性度一般要求在 0.05%或 1%以內(nèi) 。 2. 應變極限 粘貼在試件上的應變計所能測量的最大應變值稱為應變 極限 。 在一定的溫度 (室溫或極限使用溫度 ) 下 , 對試件緩慢 地施加均勻的拉伸載荷 , 當應變計的指示應變值對真實應變 值的相對誤差大于 10% 時 , 就認為應變計已達到破壞狀態(tài) , 此時的真實應變值就作為該批應變計的應變極限 。 第 2章 應變式傳感器 3. 貼有

28、應變計的試件進行加載和卸載時 , 其 R/R-特性曲 線不重合 。 把加載和卸載特性曲線的最大差值 （ 如圖 2.10 所示 ） 稱為應變計的機械滯后值 。 4. 恒定溫度下 , 粘貼在試件上的應變計 , 在不承受載荷的 條件下 , 電阻隨時間變化的特性稱為應變計的零漂 。 零漂 的主要原因是 , 敏感柵通過工作電流后的溫度效應 , 應變計 的內(nèi)應力逐漸變化 , 粘接劑固化不充分等 。 第 2章 應變式傳感器 圖 2.10 應變計的機械滯后 R R O 第 2章 應變式傳感器 5. 已安裝的應變計 , 在恒定幅值的交變應力作用下 , 可以連 續(xù)工作而不產(chǎn)生疲勞損壞的循環(huán)次數(shù) 。 所謂疲勞損壞是

29、指 應變計指示應變的變化超過規(guī)定誤差 , 或者應變計的輸出波 形上出現(xiàn)毛刺 , 或者應變計完全損壞而無法工作 。 疲勞壽命 反映應變計對動態(tài)應變的適應能力 。 應變計的疲勞壽命的循 環(huán)次數(shù)一般可達 106次 。 第 2章 應變式傳感器 6. 最大工作電流是指允許通過應變計而不影響其工作的最 大電流值 。 工作電流大 , 應變計輸出信號就大 , 因而靈敏度高 。 但過大的工作電流會使應變計本身過熱 , 使靈敏系數(shù)變化 , 零 漂 、 蠕變增加 , 甚至燒壞應變計 。 工作電流的選取 , 要根據(jù)散 熱條件而定 , 主要取決于敏感柵的幾何形狀和尺寸 、 截面的 形狀和大小 、 基底的尺寸和材料 、

30、粘合劑的材料和厚度以及 試件的散熱性能等 。 通常允許電流值在靜態(tài)測量時約取 25 mA左右 , 動態(tài)測量時可高一些 , 箔式應變計可取更大些 。 在 測量塑料 、 玻璃 、 陶瓷等導熱性差的材料時 , 工作電流要取 小些 。 第 2章 應變式傳感器 7. 絕緣電阻 絕緣電阻是指應變計的引線與被測試件之間的電阻值 , 一 般以兆歐計 。 絕緣電阻過低 , 會造成應變計與試件之間漏電 而產(chǎn)生測量誤差 。 8. 應變計電阻值 R 應變計在未安裝也不受外力的情況下 , 于室溫時測得的電 阻值 。 這是使用應變計時應知道的一個參數(shù) 。 國內(nèi)應變計系 列習慣上選用 120、 175、 350、 500、

31、 1000、 1500。 9. 圓弧敏感柵應變計敏感柵基長 L從圓弧頂部算起 , 箔式應 變計則從橫向粗線的內(nèi)沿算起 。 通常應變計 L 約為 230mm, 箔式應變計最小可達 0.2mm, 長的達 100mm或更長 。 第 2章 應變式傳感器 2.3 應變計的粘貼 應變計的粘貼工藝對于傳感器的精度起著關鍵作用 。 應變 計通常是用粘合劑貼到試件上的 , 在做應變測量時 , 是通過粘合 劑所形成的膠層將試件上的應變準確無誤地傳遞到應變計的敏 感柵上去的 。 因此 , 粘合劑的選擇和粘貼質(zhì)量的好壞直接關系 到應變計的工作情況 , 影響測量結果的正確性 。 所以 , 應變計粘 合劑不但要求粘接力強

32、 , 而且要求粘合層的剪切彈性模量大 , 能 真實地傳遞試件的應變 。 另外 , 粘合層應有高的絕緣電阻 、 良 好的防潮性防油性能以及使用簡便等特點 。 第 2章 應變式傳感器 對粘合劑有如下要求 : (1) 有一定的粘結強度 。 (2) 能準確傳遞應變 。 (3) 蠕變小 。 (4) 機械滯后小 。 (5) 耐疲勞性能好 。 (6) 具有足夠的穩(wěn)定性能 。 (7) 對彈性元件和應變計不產(chǎn)生化學腐蝕作用 。 (8) 有適當?shù)膬Υ嫫?。 (9) 應有較大的溫度使用范圍。 第 2章 應變式傳感器 2.4 電橋原理及電阻應變計橋路 2.4.1 直流電橋的特性方程及平衡條件 圖 2.11為由橋臂 R

33、1、 R2 、 R3 、 R4組成的直流電橋 。 直流電橋的特性方程是指電橋?qū)嵌素撦d電流 If與各橋臂參 數(shù)和電源電壓的關系式 。 利用等效電源定理 , ab兩端的開路電 壓和內(nèi)阻分別為 )( 2143 3214 RRRR RRRRUe 1 2 3 4 4 3 1 2 1 2 3 4 ( ) ( ) ( ) ( ) R R R R R R R RR R R R R 第 2章 應變式傳感器 圖 2.11 R 1 R 3 R 4 R 2 b U c d a I f R f 第 2章 應變式傳感器 很易求得 )()()( 214343214321 3241 RRRRRRRRRRRRR RRRRUI

34、 f f 電喬平衡時 If=0,有 R1R4 - R2R3=0 或 4 3 2 1 R R R R 上式稱為直流電橋平衡條件 , 它說明欲使電橋達到平 衡 , 其相鄰兩臂的比值應相等 。 第 2章 應變式傳感器 2.4.2 直流電橋的電壓靈敏度 電阻應變計工作時 , 其電阻變化很微小 。 例如 , 1片 k=2, 初 始電阻 120的應變計 , 受到 1000微應變時 , 其電阻變化僅 0.24。 引起的不平衡電壓極小 , 不能用它來直接推動指示儀 表 , 故需加以放大 。 這時感興趣的是電橋輸出電壓 。 一般放 大器的輸入阻抗較電橋的內(nèi)阻要高得多 , 可認為電橋輸出端 處于開路狀態(tài) 。 設

35、R1為電橋工作臂 , 受應變時 , 其電阻變 化為 R1, R2、 R3 、 R4均為固定橋臂 。 在起始時 , 電橋處于 平衡狀態(tài) , 此時 Usc=0。 當有 R1時 , 電橋輸出電壓為 （ 如圖 2.12所示 ） 。 第 2章 應變式傳感器 R 1 R 1 R 3 R 4 R 2 b U c d a 放大器U sc 圖 2.12 第 2章 應變式傳感器 41 31 1 2 4 1 1 3 ( 1 ) ( 1 ) sc RR RR UU R R R R R R 設 n= , 考慮到起始平衡條件 , 并略去分 母中的 項 , 得 1 2 R R 3 4 1 2 R R R R 1 1 R R

36、 1 2 1( 1 ) sc nRUU nR 2 1 1 )1( n nU R R UK sc u (2.6) (2.7) 第 2章 應變式傳感器 Ku稱為電橋的電壓靈敏度 。 Ku愈大 , 說明應變計電阻 相對變化相同的情況下 , 電橋輸出電壓愈大 , 電橋愈靈敏 。 由上式知 , 欲提高 Ku, 必須提高電源電壓 , 但它受應變計允許 功耗的限制 。 另外就是選擇適當?shù)臉虮郾?n。 下面來分析 , 電橋電壓 U一定時 , n 應取何值 , 電橋靈敏 度最高 。 當 d Ku /dn=0 即 0)1( )1( 4 2 nn 第 2章 應變式傳感器 亦即 n=1 時 , Ku 為最大 。 這就

37、是說 , 在電橋電壓一 定 , 當 R1= R2, R3 = R4時 , 電橋的電壓靈敏度最高 。 通常 這種情況稱為電橋的第一種對稱形式 。 而 R1 = R3, R2 = R4則稱為電橋的第二種對稱形式 。 第一種對稱形式有 較高的靈敏度 , 第二種對稱形式線性較好 。 等臂電橋是 其中的一個特例 , 這時 (2.5) (2.7)式成為 第 2章 應變式傳感器 1 1 1 11 14 ( 1 ) 2 sc RUU RR R 1 1 4sc RUU R UK u 41 由以上三式可知 , 當電源電壓及電阻相對變化一定時 , 電橋的輸出電壓及其電壓靈敏度將與各橋臂阻值的大小 無關 。 第 2章

38、 應變式傳感器 2.4.3 交流電橋的平衡條件和電壓輸出 當采用交流供橋載波放大時 , 應變電橋也需交流電源供 電 。 應變電橋各臂一般是由應變計或無感精密電阻組成 , 是 純電阻電橋 。 但在交流電源供電時 , 需要考慮分布電容的影 響 , 這相當于應變計并聯(lián)一個電容 (如圖 2.13(a)所示 )。 此時橋 臂已不是純電阻性的 , 這就需要分析各橋臂均為復阻抗時一 般形式的交流電橋 。 交流電橋的一般形式如圖 2.13 (b)所示 , 其中 Z1, Z2, Z3, Z4為復阻抗 。 其電源電壓 , 輸出電壓均應用復 數(shù)表示 。 輸出電壓的特性方程為 第 2章 應變式傳感器 1 4 2 3

39、1 2 3 4( ) ( ) sc Z Z Z ZUU Z Z Z Z 所以平衡條件為 或 設電橋臂阻抗為 03241 ZZZZ 4 3 2 1 Z Z Z Z 1 2 3 4 1 1 1 1 2 2 2 2 3 3 3 3 4 4 4 4 j j j j Z r j X z e Z r j X z e Z r j X z e Z r j X z e 第 2章 應變式傳感器 將復數(shù)表達式代入 , 可得另一種表達式為 r1r4+ r2r3 =X1X4-X2X3 r1X4+r4X1=r2X3+r3X2 上列各式說明 : 交流電橋的平衡條件與直流電橋的不同 , 需要滿足兩個方程式 , 即必須不僅各橋

40、臂復阻抗的模滿足一 定的比例關系 , 而且相對橋臂的幅角和必須相等 。 現(xiàn)在來討 論圖 2.13 (b)中所示電橋的輸出電壓 。 設電橋起始處于平衡 狀態(tài) , 有 。 由于工作應變計變化了 R1后使 Z1變化 了 Z1, 則由 (2.8)式可得 13 24 1 4 2 3 zz zz 13 24 ZZ ZZ 第 2章 應變式傳感器 R 3 R 4 R 2 U C 1 R 1 C 2 U sc . . ( a ) Z 3 Z 4 U Z 1 U sc . . ( b ) Z 2 圖 2.13 第 2章 應變式傳感器 41 31 2 1 4 1 1 3 ( 1 ) ( 1 ) sc ZZ ZZ U

41、U Z Z Z Z Z Z 考慮到電橋的起始平衡條件并略去分母中含 Z1項 , 得 1 1 1 4sc ZUU Z 1 1 111 RZ j R C 1 1 2 11( 1 ) RZ j R C 第 2章 應變式傳感器 由于一般情況下 , 分布電容很小 , 電源頻率也不太高 , 滿 足 r1c1 1。 例如 , 電源頻率為 1000Hz, R1=120, C1=1000 pF, 則 R1C17.5 10-4 1, 因此 Z1R1, Z1R1, 則上式成為 電橋輸出電壓為與供橋電壓同頻同相的交流電壓 , 其幅值 關系為 對圖 2.13 (a )中所示交流應變電橋 , 按 (2.9)式應滿足下列

42、平衡條件 1 1 1 4sc RUU R 1 1 1 4sc RUU R 第 2章 應變式傳感器 R1R4=R2R3 或 4 3 2 1 R R R R 1 2 2 1 C C R R R2C2=R1C1 如果采用第一種對稱形式 , 平衡條件為 R1=R2, R3=R4, C1=C2 或 第 2章 應變式傳感器 2.5 2.5.1 溫度誤差產(chǎn)生的原因 把應變計安裝在自由膨脹的試件上 , 即使試件不受任何 外力作用 , 如果環(huán)境溫度發(fā)生變化 , 應變計的電阻也將發(fā)生變 化 。 這種變化疊加在測量結果中將產(chǎn)生很大誤差 。 這種由于 環(huán)境溫度改變而帶來的誤差 , 稱為應變計的溫度誤差 , 又稱熱 輸

43、出 。 產(chǎn)生溫度誤差的原因有二 : (1) 敏感柵金屬絲電阻本身隨溫度發(fā)生變化 。 電阻與溫度的關系可由下式表示 : 第 2章 應變式傳感器 式中 , Rt為溫度 t 時的電阻值 ; R0為溫度 T0時的電阻值 ; t 為溫度的變化值 ; Rt為溫度變化 t時的電阻變化 ; 為應變 絲的電阻溫度系數(shù) , 表示溫度改變 1 C時電阻的相對變化 。 (2) 試件材料與應變絲材料的線膨脹系數(shù)不一 , 使應變絲 產(chǎn)生附加變形而造成的電阻變化 。 當溫度改變 t 時 , l0長的應變絲受熱膨脹至 lst, 而應變 絲下的 l0長的構件伸長至 lgt, 其長度與溫度關系如下 : 第 2章 應變式傳感器 l

44、st=l0(1+st)=l0+l0s t ls= lst -l0=sl0t lst=l0(1+gt)=l0+l0g t lg=l0gt 式中 , l0為溫度為 t0時的應變絲長度 ; lst為溫度為 t 時應變 絲的自由膨脹后長度 ; lst為溫度為 t時應變絲下構件的自由膨 脹后長度 ; s、 g 為應變絲與構件材料的線膨脹系數(shù) , 即溫度 改變 1 時長度的相對變化 ; ls、 lg為應變絲與構件的膨脹 量 。 由上式知 , 如果 s和 g 不相等 , 則 ls和 ls就不等 。 第 2章 應變式傳感器 由于應變絲與構件是粘接在一起的 , 因而應變絲被迫從 ls拉長至 lg, 使應變絲產(chǎn)生

45、附加變形 l（ 相應的附加應變 ） , 而產(chǎn)生電阻變化 Rt: tllll sgsg 0)( tl l sg )( 0 Rt=R t+R t=R0t+R0k(g-s)t tktaR R sg )( 0 4 因此由于溫度變化而引起的總的電阻變化 Rt為 00 ()t g sR R k R k t 第 2章 應變式傳感器 也稱為視應變 。 由上式可知 , 因環(huán)境溫度改變而引起的 附加電阻變化或者造成的視應變 ,除與環(huán)境溫度變化有關外 , 還與應變計本身的性能參數(shù) k、 、 s以及被測構件的線膨脹 系數(shù) g有關 。 0/ ()t t g s R R t t kk 第 2章 應變式傳感器 2.5.2

46、溫度補償方法 1. 這是一種常用和效果較好的補償法 。 在被測試件上安 裝一工作應變計 , 在另外一個與被測試件的材料相同 , 但不 受力的補償件上安裝一補償應變計 。 補償件與被測試件處 于完全相同的溫度場內(nèi) 。 測量時 , 使兩者接入電橋的相鄰臂 上 , 如圖 2.14 所示 。 由于補償片 RB是與工作片 R1完全相同的 , 且都貼在同樣材料的試件上 , 并處于同樣溫度下 , 這樣 , 由于 溫度變化使工作片產(chǎn)生的電阻變化 R1t補償片的電阻變化 RBt相等 , 因此 , 電橋輸出 Usc與溫度無關 , 從而補償了應變計 的溫度誤差 。 第 2章 應變式傳感器 有時根據(jù)被測試件的應變情況

47、 , 亦可不專門設補償件 , 而將補償片亦貼在被測試件上 , 使其既能起到溫度補償作 用 , 又能提高靈敏度 。 例如 , 構件作純彎曲形變時 , 構件面 上部的應變?yōu)槔瓚?, 下部為壓應變 , 且兩者絕對值相等符 號相反 。 測量時可將 R 貼在被測試件的下面 （ 如圖 2.15所 示 ） , 接入圖 2.14 的電橋中 。 由于在外力矩 M作用下 , RB與 R1的變化值大小相等符號相反 , 電橋的輸出電壓增加一倍 。 此時 RB既起到了溫度補償作用 , 又提高了靈敏度 , 而且可補 償非線性誤差 。 第 2章 應變式傳感器 圖 2.14 R R U R 1 U sc R B R 1 F

48、 F R B 第 2章 應變式傳感器 圖 2.15 R 1 R B MM 第 2章 應變式傳感器 2. 該方法的基本思想是在傳感器內(nèi)靠近敏感測量元 件處安裝一個測溫元件 , 用以檢測傳感器所在環(huán)境的溫 度 。 常用的測溫元件有半導體熱敏電阻以及 PN結二極 管等等 。 測溫元件的輸出經(jīng)放大及 A/D轉(zhuǎn)換送到計算機 , 如圖 2.16所示 。 第 2章 應變式傳感器 圖 2.16 輔助測溫元件微型計算機補償法 傳感器 測溫元件 開關 多路 A / D I / O C P U 放大器 第 2章 應變式傳感器 圖中傳感器把非電量轉(zhuǎn)變成電量 , 并經(jīng)放大 , 轉(zhuǎn)換成統(tǒng)一 信號 。 測溫元件的變化經(jīng)放大

49、也轉(zhuǎn)換成統(tǒng)一信號 。 然后經(jīng)過 多路開關 , A/D轉(zhuǎn)換 , 分別把模擬量變成數(shù)字量 , 并經(jīng) I/O接口 讀入計算機 。 計算機在處理傳感器數(shù)據(jù)時 , 即可把此測溫元 件溫度變化對傳感器的影響加以補償 , 以達到提高測量精度 的目的 。 例如 , 可以采用較簡單的溫度誤差修正模型 Yc =Y(1+ 0 t)+ 1 t 第 2章 應變式傳感器 3. 自補償應變計是一種特殊的應變計 , 當溫度變化時 , 產(chǎn) 生的附加應變?yōu)榱慊蛳嗷サ窒?。 用自補償應變計進行溫度補償?shù)姆椒ń袘冇嬜匝a償 法 。 下面介紹兩種自補償應變計 。 1) 由 (2.10)式知 , 實現(xiàn)溫度補償?shù)臈l件為 t+k(g- s)

50、t=0 則 =-k(g - s) (2.11) 第 2章 應變式傳感器 2) 雙金屬敏感柵自補償應變計 (1) 敏感柵自補償應變計 這種應變計也稱組合式自補償應變計 。 它是利用兩種電 阻絲材料的電阻溫度系數(shù)符號不同 (一個為正 , 一個為負 )的特 性 , 將二者串聯(lián)繞制成敏感柵 , 如圖 2.17所示 。 若兩段敏感柵 R1和 R2由于溫度變化而產(chǎn)生的電阻變化為 R1t和 R2t, 大小相 等而符號相反 , 就可以實現(xiàn)溫度補償 。 R1與 R2的關系可由 11 22 2 1 / / RR RR R R t t 第 2章 應變式傳感器 圖 2.17 焊點 R 1 R 2 第 2章 應變式傳感

51、器 其中 R1t=-R2t 這種補償效果較前者好 , 在工作溫度范圍內(nèi)通常可達到 0.14/ C。 3) 雙金屬敏感柵自補償應變計 (2) 這種自補償應變計的敏感柵也由兩種合金絲材制成 , 但形 成的兩個電阻分別接入電橋相鄰的兩臂上 。 如圖 2.18 所示 , R1是工作臂 , R2與外接串聯(lián)電阻 RB組成補償臂 。 兩種絲材電阻溫度系數(shù)的符號相同 (例如都為正 ), 適當調(diào) 節(jié)它們之間的長度比和外接電阻 RB的數(shù)值 , 使 第 2章 應變式傳感器 圖 2.18 電阻溫度系數(shù)符號相同的雙金敏感柵自補償應變計 R 1 R 2 a b c R 3 R 4 U R 1 U sc R 2 a b R

52、 B c 第 2章 應變式傳感器 B tt RR R R R 2 2 1 1 就可使兩橋臂由于溫度引起的電阻變化相等或接近 , 實 現(xiàn)溫度自補償 。 補償柵 R2用溫度變化產(chǎn)生的 R2t去補償工作 柵 R1的 R1t, 但同時也把工作柵靈敏系數(shù)抵消一部分 。 因此補 償柵材料通常選用電阻溫度系數(shù)大且電阻率小的鉑或鉑合金 , 這樣只要幾歐的鉑電阻就能達到溫度補償 , 使應變計的靈敏 系數(shù)少損失一些 。 第 2章 應變式傳感器 這種補償方法只要適當調(diào)節(jié) RB, 就可以在不同線膨脹系 數(shù)的試件上實現(xiàn)溫度自補償 , 所以比較通用 , 這是它的優(yōu)點 。 但使用它時 , 必須每片都接成半橋線路 , 并要外

53、接一個高精度 電阻 RB, 在測量點很多的情況下 , 使用較麻煩 。 敏感柵自補償 應變計 第 2章 應變式傳感器 4. 熱敏電阻補償法 圖 2.19中的熱敏電阻 Rk處在與應變計相同溫度條件 下 , 當應變計的靈敏度隨溫度升高而下降時 , 熱敏電阻 Rk的值也下降 , 使電橋的輸入電壓隨溫度升高而增加 , 從而提高電橋的輸出 , 補償因應變計引起的輸出下降 。 選擇分流電阻 R5的值 , 可以得到良好的補償 。 第 2章 應變式傳感器 圖 2.19 熱敏電阻補償法 R 1 R 3 R 2 R 4 R 5 R k 第 2章 應變式傳感器 2.6 電阻應變儀 電阻應變儀是最早應用的 ,以應變計作

54、為傳感元件 的測量應力的專用儀器 。 電阻應變儀將電橋的微小輸 出電壓放大 、 記錄和處理 ,從而得到待測應變值 。 其種 類和型號很多 ,但基本原理相似 ,通常包括測量電橋 、 讀 數(shù)電橋 、 放大器 、 相敏檢波器 、 濾波器 、 顯示器 、 穩(wěn) 壓電源及振蕩器等部分 。 其方框圖如圖 2.20所示 。 第 2章 應變式傳感器 圖 2.20 電阻應變儀方框圖 b R R b a a K 1 K 2 讀 數(shù) 電 橋 測 量 電 橋 放 大 器 相敏 檢 波 器 濾 波 器 電源 振 蕩 器 a a b b ( a ) ( b ) ( c ) ( d ) ( e ) 檢 流 計 第 2章 應變

55、式傳感器 在測量靜態(tài)應變時 ,不是將由相敏檢波器檢波后的 信號直接記錄 、 處理或顯示 ,而是采用一個讀數(shù)電橋來 測定應變 。 讀數(shù)電橋與測量電橋都由同一振蕩器來供 電 ,它們的輸出端反向串聯(lián)起來輸入到放大器的輸入變 壓器的初級 。 第 2章 應變式傳感器 當測量電橋感受應變 ,使電橋不平衡而有一輸出電壓 e1時 ,適當改變讀數(shù)電橋的橋臂電阻值 ,使其失去平衡輸 出一個幅值大小與測量電橋輸出電壓相等而相位相反的 輸出電壓 e2。 當 e1-e2=0時 ,檢流計指示為零 ;當 e1e2時 ,放 大器立即將它放大 ,引起檢流計很大偏轉(zhuǎn) ,從而能夠很精 確地調(diào)整讀數(shù)電橋的橋臂阻值使 e1很精確地等于

56、 e2。 第 2章 應變式傳感器 由于測量電橋與讀數(shù)電橋均由同一振蕩器供電 ,因 此電源電壓的波動 ,將對 e1、 e2產(chǎn)生同樣比例的影響 ,所 以不會影響應變讀數(shù) 。 另外 ,在這種情況下 ,放大器以及 檢流計只起平衡指示作用 ,只要放大器放大系數(shù)足夠大 , 檢流計比較靈敏就夠了 。 對放大系數(shù)的穩(wěn)定性和檢流 計的精度要求就可以大為降低 。 零值法的優(yōu)點是 ,測量 精度主要取決于讀數(shù)電橋的精度 ,而不受電橋供電電壓 波動以及放大器放大系數(shù)波動等的影響 ,因此測量精度 較高 。 但由于需要進行手調(diào)平衡 ,故一般用于靜態(tài)測量 。 第 2章 應變式傳感器 通常的靜 、 動態(tài)電阻應變儀的測量電路有交

57、流供 橋載波放大和直流供橋直流放大兩種類型 。 交流供橋 載波放大具有靈敏度高 ,穩(wěn)定性好 ,受外界干擾和電源影 響小及造價低等優(yōu)點 。 但存在工作頻率上限較低 ,導線 分布電容影響大等缺點 。 而直流放大器等則相反 ,工作 頻帶寬 ,能解決分布電容等問題 。 但它需配用精密電源 供橋和穩(wěn)定的直流放大器 ,造價較高 。 第 2章 應變式傳感器 在數(shù)字應變儀 、 超動態(tài)應變儀中已逐漸采用由參 考穩(wěn)壓電源和運算放大電路組成的直流電橋電路 。 當 然 ,直流放大器原理上的缺點并未徹底克服 ,實際運用時 , 需采取各種輔助技術 。 由于直流電橋輸出的穩(wěn)定性和 供橋直流電壓的穩(wěn)定性密切相關 ,因此 ,直

58、流電橋必須有 一個穩(wěn)定的直流供橋電壓 。 采用集成的參考穩(wěn)壓電源 和運算放大電路可以得到穩(wěn)定的供橋直流電壓 ,如圖 2.21所示 。 第 2章 應變式傳感器 圖 2.21 基本電橋驅(qū)動電路 采樣線 電流擴展器運算放大器 A D 7 4 1 U s 參考電壓 1 0 V A D 5 8 1 1 0 V 4 0 m A 2 5 0 電橋 第 2章 應變式傳感器 圖 2.22為專用的傳感器電源模塊作為穩(wěn)定的直流 供橋電壓源 。 圖中 (a)為基本電路 ,圖 (b)為電源模塊 。 因 為電橋工作在非零輸出狀態(tài) ,其激勵電壓發(fā)生變化會直 接影響到電橋輸出的變化 ,對于低阻值電橋 (應變計使用 低阻值應變

59、計時 )連接到電橋激勵端的導線上的電壓降 可能明顯地改變電橋激勵電壓 ,從而產(chǎn)生誤差 。 第 2章 應變式傳感器 驅(qū)動導線 導線電阻 U s KU B 電橋電源 U r I B 導線電阻 驅(qū)動導線 I B I 0 高阻抗采樣線 電橋 輸出 ( a ) U B 圖 2.22 第 2章 應變式傳感器 圖 2.22 3 4 9 10 12 14 6 8 輸出調(diào)節(jié) 至儀器裝置電路 電橋 輸出 5 7 2 B 3 5 K 交流 ( b ) 1 2 第 2章 應變式傳感器 為了校正此誤差 ,常采用四線法 (凱爾文法 )連接電 橋 。 兩根導線傳送給電橋電流 ,另兩根導線感受在電橋 兩端的實際電壓 ,此實際

60、電壓反饋回來與參考電壓相比 較 ,以調(diào)整供橋電源的輸出電壓維持在所要求的電橋電 壓值上 。 高增益的反饋回路使輸給電橋的電壓必定是 比較器輸入為零 (Ur-kUB=0)時 ,所需電壓 ,因此 UB=Ur/k, 如圖 2.22(a)所示 。 第 2章 應變式傳感器 2.7 應變式傳感器 電阻應變絲 、 片 ,除直接用來測定試件的應變和應 力外 ,還廣泛用作傳感元研制成各種應變式傳感器 ,用來 測定其他物理量 ,如力 、 壓力 、 扭矩 、 加速度等 。 應變式傳感器的基本構成通?？煞譃閮刹糠?,彈性 敏感元件和應變計 (絲 )。 彈性敏感元件在被測物理量的 作用下 ,產(chǎn)生一個與它成正比的應變 ,

61、然后用應變計 (絲 ) 作為轉(zhuǎn)換元件將應變轉(zhuǎn)換為電阻變化 。 應變式傳感器 與其他類型傳感器相比具有如下特點 : 第 2章 應變式傳感器 (1)測量范圍廣、精度高。測力傳感器 ,可測 10-2107N的力 ,精度達到 0.05%FS以上 ;壓力傳感器 ,可測 10-1107Pa的壓力 ,精度可達 0.1%FS。 (2)性能穩(wěn)定可靠 ,使用壽命長 。 對于稱重而言 ,機械 杠桿稱由于杠桿 、 刀口等部分相互摩擦產(chǎn)生損耗和變 形 ,欲長期保持其精度是相當困難的 。 若采用電阻應變 式稱重傳感器制成的電子秤 、 汽車衡 、 軌道衡等 ,只要 傳感器設計合理 ,應變計選擇確當 ,粘貼 、 防潮 、 密

62、封可 靠 ,就能長期保持性能穩(wěn)定可靠 。 應變式壓力傳感器也 是這樣 。 第 2章 應變式傳感器 (3)頻率響應特性較好 。 一般電阻式應變計響應時 間約為 10-7 s,半導體應變計可達 10-11 s。 若能在彈性元 件上采取措施 ,則由它們構成的應變式傳感器可測幾十 千赫甚至上百千赫的動態(tài)過程 。 (4)能在惡劣的環(huán)境條件下工作 。 只要進行適當?shù)?結構設計及選用合適的材料 ,應變式傳感器可在高 (低 ) 溫 、 高速 、 高壓 、 強烈振動 、 強磁場及核輻射和化學 腐蝕等惡劣的環(huán)境條件下正常工作 。 第 2章 應變式傳感器 (5)易于實現(xiàn)小型化 、 整體化 。 隨著大規(guī)模集成電 路工

63、藝的發(fā)展 ,已可將電路甚至 A/D轉(zhuǎn)換與傳感器組成 一個整體 ,傳感器可直接接入計算機進行數(shù)據(jù)處理 。 第 2章 應變式傳感器 2.7.1 彈性敏感元件 不僅對于應變式傳感器 ,對其他某些類型的傳感器 , 彈性敏感元件在傳感器技術中也占有極為重要的地位 。 在傳感器工作過程中 ,一般是由彈性敏感元件把各種形 式的物理量轉(zhuǎn)換成形變 ,再由轉(zhuǎn)換元件 (例如電阻應變計 ) 轉(zhuǎn)換成電量 。 所以在傳感器中彈性元件是應用最廣泛 的元件之一 。 其質(zhì)量的優(yōu)劣直接影響傳感器的性能及 精度 ,有時還是傳感器的核心部分 。 第 2章 應變式傳感器 通常要求彈性敏感元件具有以下性能 : (1) 彈性儲能 (應變能

64、 )高 。 彈性儲能是材料在開始塑性變形以前單位體積所 儲存的彈性能 。 它表示彈性材料儲存變形功而不發(fā)生 永久變形的能力 。 其大小為 211 22 e ee TU T S E (2)具有較強的抗壓 (或抗拉 )強度 ,以便在高載荷下 有足夠的安全性能 。 (3)受溫度影響小 。 第 2章 應變式傳感器 彈性模量溫度系數(shù)小而穩(wěn)定 ,熱膨脹系數(shù)小 。 (4)具有良好的機械加工和熱處理性能 , 易于機械加工及熱處理 。 (5)具有良好的重復性和穩(wěn)定性 。 (6)熱處理后應有均勻穩(wěn)定的組織 ,且各向同性 。 (7)具有高的抗氧化 、 抗腐蝕性能 。 彈性敏感元件的材料主要是合金結構鋼 。 例如 ,

65、中 碳鉻鎳鉬鋼 ,中碳鉻錳硅鋼 ,析出硬化型不銹鋼 ,高速工具 鋼和彈簧鋼等 。 第 2章 應變式傳感器 2.7.2 應變式測力與稱重傳感器 應變式測力傳感器由彈性體 、 應變計和外殼組成 。 彈性體是測力傳感器的基礎 ,應變計是傳感器的核心 。 根 據(jù)彈性體的結構形式的不同可分為 :柱式 、 輪輻式 、 梁 式 、 環(huán)式等 。 1. 柱式傳感器 柱式傳感器是稱重 (或測力 )傳感器應用較普遍的一 種形式 。 它分為圓筒形和柱形兩種 。 圖 2.23畫出了傳感 器的結構示意圖和外形 。 其結構是在圓筒或圓柱上按一 定方式貼上應變計 。 圓筒或圓柱在外力 F作用下產(chǎn)生的 應變?yōu)?TF E AE

66、第 2章 應變式傳感器 圖 2.23 (a)圓柱 ; (b)圓筒 ; (c)外形 ( a ) ( b ) ( c ) 第 2章 應變式傳感器 一般將應變計對稱地貼在應力均勻的圓柱表面的 中間部分 ,如圖 2.24(a)所示 ,并連接成圖 (b)所示的橋路 :T1 和 T3,T2和 T4分別串聯(lián) ,放在相對臂內(nèi) 。 當一方受拉時 ,則 另一方受壓 。 由此引起的電阻應變計阻值的變化大小 相等符號相反 ,從而減小彎矩的影響 。 橫向粘貼的應變 計作為溫度補償片 。 電橋輸出電壓為 1 2 1 2 3 4 2 1 2 1 2 3 4 ()()sc R R R R R RUUR R R R R R 1 2 3 4 14 23 ( 1 ) 2 sc R R R R R R R R R R R R UU R 第 2章 應變式傳感器 圖 2.24 柱式傳感器應變計粘貼和橋路連接 T 2 T 4 C 2 C 4 T 1 T 3 C 1 C 3 U ( a ) ( b ) T 1 C 1 T 4 C 4 T 2 C 2 U sc 第 2章 應變式傳感器 由上式可知 ,橫向粘貼的應變計既作為溫度補償 ,也