傳感器35章磁敏傳感器
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1、傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 傳 感 器 技 術 及 應 用機 械 092011 2012第 二 學 期 2012年 3月 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效
2、 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 5.6 磁 敏 傳 感 器l 半 導 體 磁 敏 傳 感 器 : 可 將 磁 場 強 度 參 數(shù) 轉 變?yōu)?電 參 數(shù) 的 傳 感 器 。l 種 類 : 霍 爾 傳 感 器 、 磁 敏 電 阻 傳 感 器 、 磁 敏二 極 管 、 磁 敏 晶 體 管 等 。l 特 點 :l 可 實 現(xiàn) 非 接 觸 檢 驗 , 壽 命 長 、 可 靠 性 高 。 從 直 流 ( 0Hz) 到 高 頻 ( 數(shù) 十 GHz) 其 特 性完 全 一 樣 。 不 僅 能 夠 測 量 運 動 磁 場 強 度 ,也 能 測
3、 量 靜 止的 磁 場 。 能 夠 使 器 件 小 型 化 和 集 成 化 。 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 一 、 霍 爾 元 件霍 爾 電 壓 形 成 的 定 性 說 明 (a)磁 場 為 0時 , 電 子 在 半 導 體 中 的 流 動 ;(b)磁 場 不 為 0, 電 子 在 勞 倫 茲 力 作 用 下 發(fā) 生偏 轉
4、 ;(c)電 荷 積 累 達 到 平 衡 時 ,電 子 在 流 動 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 二 、 磁 敏 電 阻l 磁 敏 電 阻 是 一 種 電 阻 隨 磁 場 而 變 化 的磁 敏 元 件 , 也 稱 MR元 件 。 它 的 理 論基 礎 為 磁 電 阻 效 應 。1、 工 作 原 理l 磁 電 阻 效 應 :l
5、 將 載 流 導 體 ( 金 屬 或 半 導 體 ) 置 于 外磁 場 中 , 不 但 產(chǎn) 生 霍 爾 效 應 ( 電 勢 或電 場 ) , 同 時 電 阻 也 會 隨 磁 場 而 變 化 。這 種 現(xiàn) 象 成 為 磁 敏 電 阻 效 應 , 簡 稱 磁 電 阻 效 應 。 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD)2. 作 用 機 理
6、外 磁 場 改 變 了 導 體 載 流 子 遷 移 的 路 徑 , 致 使 與 外 界 電 場 同方 向 的 電 流 分 量 減 小 , 等 價 于 電 阻 增 大磁敏元件 載 流 子遷 移 率幾 何形 狀 物 理 磁阻 效 應幾 何 磁阻 效 應 220 041169 BB tan00 wlGRR rBB電 阻 率 相 對 變 化電 阻 相 對 變化 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻
7、 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD)( 1) 物 理 磁 阻 效 應具 有 兩 種 載 流 子 的 材 料 通 電 后 , 電 子 和 空 穴電 流 密 度 分 別 為 jn 和 jp , 總 電 流 密 度 j無 外 磁 場 H時 , j=jn + jp 有 外 磁 場 H時 ,jn 與 jp 背 向 偏 轉pn jjj j l 的 扁 平 器 件 串 聯(lián) 起 來 柵格 磁 阻 器 件 。 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形
8、狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 科 比 諾 圓 盤中 心 和 邊 緣 為 兩 電 極不 存 在 橫 向 霍 爾 電 場 和 電 勢磁 敏 電 阻 變 化 更 加 明 顯 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 柵 格 磁 阻 器 件l 在 LW長
9、 方 形 磁 阻 材 料 上 面 制作 許 多 平 行 等 間 距 的 金 屬 條( 即 短 路 柵 格 ) ,l 相 當 于 許 多 扁 條 狀 磁 阻 串 聯(lián) 。l 零 磁 場 電 阻 約 100,柵 格 金 屬條 在 100根 以 上 。 l 柵 格 磁 阻 器 件 既 增 加 了 零 磁 場電 阻 值 、 又 提 高 了 磁 阻 器 件 的靈 敏 度 。 LB IB I 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁
10、阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 磁 敏 電 阻 的 靈 敏 度 一 般 是 非 線 性 的 , 且 受溫 度 影 響 較 大 ; 因 此 , 使 用 磁 敏 電 阻 時 必 須首 先 了 解 如 下 圖 所 示 的 持 性 曲 線 。 然 后 , 確 定溫 度 補 償 方 案 。磁 阻 元 件 的 電 阻 值 與 磁 場 的極 性 無 關 , 它 只 隨 磁 場 強 度的 增 加 而 增 加 磁 阻 元 件 的 溫 度 特 性不 好 , 在 應 用 時 , 一般 都 要 設 計 溫 度 補 償電 路 。 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏
11、 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 4、 磁 阻 式 傳 感 器 應 用 磁 阻 效 應角 度 傳 感 器l 測 量 原 理 輸 出 電 壓 與 磁 場 角 度 成 正 比l 由 于 電 阻 沒 有 極 性 , 僅 與 磁 場 強 度 的 絕 對 值 成 正 比 ,l 磁 極 每 轉 動 180度 , 某 個 位 置 上 的 磁 敏 電 阻 阻 值 變 化 一周 期
12、 ,l 相 對 180度 布 置 的 兩 磁 敏 電 阻 a和 d同 步 變 化 Rl 與 a, d相 差 90度 布 置 的 磁 敏 電 阻 b, c變 化 周 期 差 180度 , l 即 b, c與 a, d正 好 反 相 R 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 磁 阻 式 傳 感 器 應 用 磁 阻 效 應 角度 傳 感
13、器l 將 相 間 90度 布 置 的 四 個 磁 敏 電 阻 接 入電 橋 電 路 ,l 傳 感 器 每 相 對 磁 極 轉 動 180度 , 輸 出電 壓 變 化 一 個 周 期 。 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) l UZZ900信 號 調(diào) 理 芯 片KMZ41型 傳 感 器 :內(nèi) 含 8個 MR形 成 兩 組 電 橋 傳
14、 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) l 兩 組 磁 敏 電 阻 相 對 磁 場 布 置 相 差 45度 ,磁 阻 變 化 相 位 差 90度l 兩 組 電 橋 的 輸 出 電 壓 相 位 相 差 90度KMZ41型 傳 感 器 : 可 以 實 現(xiàn) 辨 向 功 能 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作
15、 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 兩 組 電 橋 制 作 成 相 差 45度 分 布 , 輸 出信 號 相 差 90度 l 可 判 別 角 度 方 向 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效
16、 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 轉 速 傳 感 器 l 傳 感 器 與 調(diào) 理 電 路 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD)安 裝 l 工 作 原 理l 輸 出 方 波 l 頻 率 信 號 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應
17、的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 各 向 異 性 磁 阻 傳 感 器 (AMR)l 原 理 : *Anisotropic Magnetoresistive Effect各 向 異 性 磁阻 效 應各 向 異 性 磁 阻 傳 感 器 是 將 鐵 鎳 合 金 薄 膜 沉 積 在 硅 基 底 上構 成 的 , 沉 積 的 時 候 薄 膜 以 條 帶 的 形 式 排 布 , 形 成一 個 平 面 的 線 陣 以 增 加 磁 阻 的 感 知 磁 場 的 面
18、 積 。當 外 部 磁 場 加 到 這 樣 的 鐵 磁 性 薄 膜 上 的 時 候 , 磁 疇 旋 轉 ,改 變 空 間 取 向 , 這 樣 使 得 薄 膜 條 帶 構 成 的 線 陣 的 表觀 電 阻 發(fā) 生 改 變 。 具 體 的 說 , 電 橋 的 相 對 的 兩 個 臂 上 的 電 阻 增 大 , 而 另 外 兩 只 相 對 的 臂 上 的 電 阻 減 小 ,就 反 應 在 電 橋 電 壓 輸 出 的 改 變 上 。 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏
19、度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀
20、靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 芯 片 內(nèi) 的 惠 斯 通 電 橋 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 各 向 異 性 磁 阻 傳 感 器HMC1002HoneyWell公 司 的 HMC1002特 性 : *響 應 時
21、間 短 ( 可 以 測 高 頻 交 變 磁 場 ) *測 量 精 度 高 ( 達 10(-8)T) *有 兩 個 敏 感 軸 , 可 確 定 平 面 內(nèi) 大 小 方向 芯 片 體 積 小 , 定 位 較 準 確 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 芯 片 管 腳 排 布 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電
22、阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) HMC1052磁 阻 傳 感 器 由 兩 個 AMR 傳 感器 (各 向 異 性 磁 阻 傳 感 器 ) 整 合 在 一 起 ,可以 把 任 何 水 平 方 向 的 磁 場 分 解 為 X , Y 兩個 方 向 的 矢 量 。 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因
23、素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 三 、 磁 敏 二 極 管 (SMD)l 工 作 原 理l 在 高 阻 半 導 體 芯 片 ( 本 征 型 I) 兩 端
24、 , 分 別 制 作 P、 N兩個 電 極l P、 N為 重 參 雜 區(qū) , I區(qū) 長 度 較 長l I區(qū) 一 側 光 滑 , 一 側 打 毛 粗 糙 ,l 粗 糙 表 面 易 于 使 電 子 空 穴 對 復 合 而 消 失 , 成 為 r面 ( 復合 區(qū) )l 外 加 正 向 偏 壓 : P區(qū) 接 正 , N區(qū) 接 負 大 量 空 穴 從 P區(qū) 注 入 I區(qū) ; 大 量 電 子 從 N區(qū) 注 入 I區(qū) l 未 加 磁 場 , 電 子 和 空 穴 運 行 方 向 不 偏 轉 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應
25、的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 磁 敏 二 極 管 加 正 向 電 壓 : P+N-l 當 磁 場 方 向 使 電 子 、 空 穴 向 r面 偏 轉 時 ,載 流 子 對 因 復 合 而 消 失 , 使 I區(qū) 載 流 子 數(shù)目 大 為 減 少 , 該 管 外 部 表 現(xiàn) 為 電 阻 增 大 ,電 流 減 小 , 壓 降 增 大 , U0 l 當 磁 場 方 向 使 電 子 、 空 穴 向 光 滑 面 偏 轉 時 ,復 合 率 變 小 , 外 部
26、 表 則 現(xiàn) 為 電 阻 減 小 , 電流 增 大 , 壓 降 減 小 , U0 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD)磁 敏 二 極 管 的 伏 安 特 性 l 在 給 定 磁 場 情 況 下 , 磁 敏二 極 管 兩 端 正 向 偏 壓 和 通過 它 的 電 流 的 關 系 曲 線 。 在 一 定 條 件 下 , 磁 敏 二 極
27、管 的輸 出 電 壓 的 變 化 量 U與 外 加 磁場 的 關 系 磁 敏 二 極 管 的 磁 電 特 性 : 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 磁 敏 二 極 管 的 磁 電 特 性l 互 補 使 用 時 , 正 、 反 向 磁 靈 敏 度 曲 線對 稱 , 且 在 弱 磁 場 下 有 較 好 的 線 性 。 傳 感 器 技
28、 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 溫 度 補 償 及 提 高 靈 敏 度 的 措 施 互 補 式 電 路 溫 度 特 性 曲 線 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格
29、磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 差 分 式 電 路 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 全 橋 式 電 路要 求 : 靈 敏 度 高 用 交 流 電 源 或 脈 沖 電 壓 源 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應
30、影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 磁 敏 二 極 管 與 其 它 磁 敏 器 件 相 比 , 具 有 以 下 特 點 :(1)靈 敏 度 高 ,磁 敏 二 極 管 的 靈 敏 度 比 霍 爾 元 件 高幾 百 甚 至 上 千 倍 , 而 且 線 路 簡 單 , 成 本 低 廉 。(2) 靈 敏 度 與 磁 場 關 系 呈 線 性 的 范 圍 比 較 窄 , 但是 弱 磁 場 情 況 下 具 有 較 好 的 線 性 。( 3
31、) 具 有 正 反 磁 靈 敏 度 v 磁 敏 二 極 管 可 用 來 檢 測 交 、 直 流 磁 場 , 特 別適 合 于 測 量 弱 磁 場 ; 可 用 作 借 助 磁 場 觸 發(fā) 的無 觸 點 開 關 。 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) 磁 敏 二 極 管 2檢 測 到 轉 子 磁 場磁 敏 管 2輸 出 信 號 給 控
32、 制 電 路 3接 通 對 應 定 子 線 圈 1, 產(chǎn) 生 對 轉 子磁 極 的 拉 -推 力轉 子 磁 場 順 序 作 用 于 各 磁 敏 管磁 敏 管 順 序 接 通 各 定 子 線 圈 產(chǎn) 生旋 轉 磁 場 使 轉 子 旋 轉磁 敏 二 極 管 應 用無 刷 直 流 電 機 傳 感 器 技 術 及 應 用磁 敏 傳 感 器磁 敏 電 阻 工 作 原 理 -磁 阻 效 應影 響 磁 阻 效 應 的 因 素材 料磁 敏 電 阻 的 形 狀靈 敏 度 與 形 狀幾 何 磁 阻 效 應柵 格 磁 阻 器 件應 用 :磁 阻 效 應 角 度 傳 感 器磁 敏 二 極 管 (SMD) l End
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