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1、1真空設(shè)備設(shè)計中的注意事項1、根據(jù)設(shè)備的工藝要求，確定真空設(shè)備的總的最大允許漏率，并依據(jù)這一總漏率確定各組成部件的最大允許漏率。2、根據(jù)設(shè)備的最大允許漏率等指標(biāo)，在設(shè)計階段就初步確定將要采用的檢漏方法，并將其作為指導(dǎo)調(diào)試 驗收的基本原則之一。3、根據(jù)設(shè)備或部件的最大允許漏率指標(biāo)，決定設(shè)備的密封、連接方式和總體加工精度，以及何種動密封形式能夠滿足要求。如，法蘭采用金屬密封或橡膠密封。4、容器結(jié)構(gòu)強(qiáng)度設(shè)計時，考慮如果采用加壓法檢漏被檢件所應(yīng)具有的耐壓能力和結(jié)構(gòu)強(qiáng)度。5、選擇零部件結(jié)構(gòu)材料時，考慮是否使用了可能被工作介質(zhì)和示漏氣體腐蝕而導(dǎo)致?lián)p壞的材料。6、結(jié)構(gòu)設(shè)計時，在容器或系統(tǒng)上要留有必要的檢漏儀

2、器備用接口，以便在設(shè)備組裝、調(diào)試過程中檢漏使用。尤其是大型、復(fù)雜的管路系統(tǒng)，通常需要采用分段檢漏方法，因此在管路上要設(shè)置分段隔離的閥門，并在每一隔離段上預(yù)留檢漏儀器接口。7、零件結(jié)構(gòu)設(shè)計時，盡量避免采用可能干擾檢漏工作的設(shè)計方案。例如在真空室內(nèi)螺釘孔不能采用盲孔形式，因為安裝螺釘后螺孔內(nèi)部剩余空間的氣體只能通過螺紋間隙逸出，形成虛漏。從而延長系統(tǒng)抽氣時間，干擾檢漏正常進(jìn)行。如圖真空檢漏中不應(yīng)出現(xiàn)的結(jié)構(gòu)。8、與此類似，結(jié)構(gòu)設(shè)計中不允許存在連續(xù)雙面焊縫和多層密封圈結(jié)構(gòu)，因為這會在中間形成“寄生積”內(nèi)的氣體會形成虛漏；而當(dāng)內(nèi)、外雙側(cè)焊縫或密封圈同時泄漏時，“寄生容積”使示漏氣體穿越雙層焊縫的響應(yīng)時間

3、過長，無法正常檢漏。9、焊接結(jié)構(gòu)設(shè)計時，盡量減少總裝后無法檢漏的焊縫。2真空設(shè)備制造過程中的檢漏在設(shè)備的加工階段，有必要跟隨加工工藝（尤其是焊接工藝）及時地對半成品零部件進(jìn)行檢漏。對于制造完畢后無法接觸、檢漏或修補(bǔ)的部件，焊縫質(zhì)量要嚴(yán)格檢漏，不合格的及時重焊、補(bǔ)焊并重新檢漏，符合要求后才可以進(jìn)行下一道工序。特別是對于大容器的組焊、加工，中間過程的檢漏十分關(guān)鍵，必要時應(yīng)該設(shè)計、制造專門的檢漏工具（如探漏盒、盲板等）。對于采用雙層室壁水冷夾套的真空室體，最好首先組焊完內(nèi)層室壁并檢漏，確認(rèn)沒有漏孔后再組焊外層室壁。同樣道理，對于室壁外側(cè)有保溫層等不易拆卸結(jié)構(gòu)的情況，必須首先對室壁做嚴(yán)格檢漏，然后才能

4、包覆外層結(jié)構(gòu)。在條件允許情況下，所有真空法蘭與其接管（包括真空室體法蘭與室體壁）均應(yīng)采用焊后加工法蘭表面的工藝。不經(jīng)焊后加工的法蘭，即便在安裝調(diào)試階段可能滿足了密封要求，但在設(shè)備使用過程中，受熱、振動等因素也可能誘發(fā)焊接應(yīng)力的釋放，從而導(dǎo)致法蘭變形和密封性能下降。加工制造過程中，嚴(yán)格執(zhí)行真空作業(yè)衛(wèi)生和作業(yè)規(guī)范，對于提高真空設(shè)備和系統(tǒng)的氣密性也是很有幫助的。焊接坡口打磨成型后，需經(jīng)去油清洗并及時保護(hù)將有利于提高焊縫的氣密性。已經(jīng)加工完成的零部件動、靜密封面，應(yīng)該具有保護(hù)措施，嚴(yán)防在存放、搬運(yùn)、裝配過程中發(fā)生磕碰、劃傷。使用焊接波紋管、金屬與陶瓷或玻璃封接件、玻璃器件等易損件時，更應(yīng)精心作業(yè)，尤其

5、避免已經(jīng)通過預(yù)檢漏后被損壞而產(chǎn)生漏孔。3真空設(shè)備安裝調(diào)試過程中的檢漏步驟安裝調(diào)試階段是真空設(shè)備或系統(tǒng)檢漏工作的主體。若設(shè)備焊縫的氣密性已經(jīng)通過加工階段的檢漏得以保證，那么在設(shè)備安裝、調(diào)試過程中，檢查、保證連接部位的密封性，是檢漏工作的重點。包括各個管道、部件間的法蘭連接和動密封件等重點可疑部位。若同時對焊縫和連接部位檢漏，則檢漏的工作量和難度都加大。大型、復(fù)雜真空設(shè)備最好采用分段檢漏，每裝上一個部件，便對其連接部位和焊縫進(jìn)行一次檢漏，達(dá)到要求后再裝下一個部件。因為將所有部件全裝配完后再檢漏，不僅懷疑部位太多，還可能多個漏孔同時漏氣，給總體檢漏帶來極大困難。真空設(shè)備安裝調(diào)試過程中的檢漏步驟如下：

6、1、了解待檢設(shè)備的結(jié)構(gòu)組成和裝配過程。掌握設(shè)備的要求，查明需要進(jìn)行檢漏的重點可疑部位。2、根據(jù)所規(guī)定的最大允許漏率以及是否需要找漏孔的具體位置等要求，并從經(jīng)濟(jì)、快速、可靠等原則出發(fā)，正確選擇好檢漏方法或儀器，準(zhǔn)備好檢漏時所需的輔助設(shè)備后擬定切實可行的檢漏程序。3、應(yīng)對被檢件進(jìn)行好清潔工作，取出焊渣、油垢后再按真空衛(wèi)生條件進(jìn)行清潔處理，并予以烘干。對要求高的小型器件。清潔處理后可通過真空烘干箱進(jìn)行烘烤，進(jìn)行清潔處理后不但可以避免漏孔不被污物、油、有機(jī)溶液等堵塞，而且也保護(hù)了檢漏儀器。4、對所選用的檢漏方法和檢漏設(shè)備進(jìn)行檢漏靈敏度的校準(zhǔn)，并確定檢漏系統(tǒng)的檢漏時間。5、若采用真空檢漏法時，為了提高儀

7、器的靈敏度，應(yīng)盡可能將被檢件抽到較高真空。6、在允許的前提下，應(yīng)盡可能優(yōu)先應(yīng)用較為經(jīng)濟(jì)和現(xiàn)場具備條件的檢漏方法。7、采用氦質(zhì)譜檢漏設(shè)備檢漏時，對于要求檢漏不高的或有大漏產(chǎn)生的被檢件時，在檢漏初期應(yīng)盡量用濃度較低的氦氣進(jìn)行檢漏，然后再進(jìn)行小漏孔的檢漏，以節(jié)約氦氣。8、對已檢出的大漏孔及時進(jìn)行修補(bǔ)堵塞后再進(jìn)行小漏孔的檢漏。9、對檢出并修補(bǔ)的漏孔進(jìn)行一次復(fù)查以確保檢漏結(jié)果達(dá)到要求。4真空設(shè)備使用過程中的注意事項在真空設(shè)備使用運(yùn)行階段，時常出現(xiàn)設(shè)備氣密性下降，總體漏率上升的情況，這是影響真空設(shè)備正常工作的主要原因。造成這種現(xiàn)象的原因包括：機(jī)械振動造成連接部位松動；經(jīng)常拆卸部位的密封圈可能損壞或安裝不正確；由于冷、熱沖擊而發(fā)生變形和疲勞破壞；某些部件或材料因受工作介質(zhì)的腐蝕而破壞；某些原本被水、油或其他臟物堵塞的漏孔重新釋通；以及應(yīng)力集中而造成裂紋等。正確使用真空設(shè)備，應(yīng)該將檢漏工作納入真空設(shè)備日常維護(hù)、管理規(guī)范之中，例如定期做靜態(tài)升壓檢測實驗。操作人員發(fā)現(xiàn)設(shè)備氣密性下降應(yīng)及時解決，根據(jù)其設(shè)備使用情況和故障現(xiàn)象來分析泄漏原因，并采取適當(dāng)?shù)臋z漏手段，檢出漏孔位置，及時修補(bǔ)。不要等到設(shè)備出現(xiàn)多種、多處泄漏，已經(jīng)無法正常工作時再去檢漏維修。另外，平時準(zhǔn)備充足的密封備件，定期（而不是出現(xiàn)問題后）更換易損件，也是做好真空檢漏工作、保證設(shè)備正常運(yùn)行的主要措施。