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1、真空技術(shù)名詞術(shù)語(yǔ)一、一般術(shù)語(yǔ) 1標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境條件：溫度為20，相對(duì)濕度為65%，大氣壓力為101325Pa。 2氣體的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：溫度為0，壓力為101325Pa。 3壓力（壓強(qiáng)）：氣體分子從某一假想平面通過(guò)時(shí)，沿該平面的正法線(xiàn)方向的動(dòng)量改變率，除以該平面面積或氣體分子作用于其容器表面上的力的法向分量，除以該表面面積。 4帕斯卡（符號(hào)：Pa）：國(guó)際單位制壓力單位，1 Pa=1N/m2。 5分壓力：混合氣體中某一組分的壓力。 6全壓力：混合氣體中所有組分壓力的總和。 7真空：在指定空間內(nèi)，低于一個(gè)大氣壓力的氣體狀態(tài)。 8真空度：表示真空狀態(tài)下氣體的稀薄程度，通常用壓力值來(lái)表示9氣體：不受分子間相互作用

2、力的約束且能自由地占據(jù)任意空間的物質(zhì)。（注：在真空技術(shù)中，“氣體”一詞不嚴(yán)格地應(yīng)用于非可凝性氣體和蒸汽。）10非可凝性氣體：在臨界溫度以上的氣體，即單純?cè)黾訅毫Σ荒苁蛊湟夯臍怏w。11蒸汽：在臨界溫度以下的氣體，即單純?cè)黾訅毫δ苁蛊湟夯臍怏w。12飽和蒸汽壓：在給定溫度下，某種物質(zhì)的蒸汽與其凝聚相處于相平衡狀態(tài)下的該種物質(zhì)的蒸汽壓力。13飽和度：蒸汽壓對(duì)其飽和蒸汽壓之比。14飽和蒸汽：在給定溫度下，壓力等于其飽和蒸汽壓的蒸汽。15未飽和蒸汽：在給定溫度下，壓力小于其飽和蒸汽壓的蒸汽。16分子數(shù)密度（單位：m-3）：在某瞬時(shí)，氣體中某點(diǎn)周?chē)w積內(nèi)的分子數(shù)，除以該本積。17平均自由程：一個(gè)分子與其

3、它氣體分子每連續(xù)二次碰撞走過(guò)的路程，叫自由程。相當(dāng)多的不同自由程的平均值，叫平均自由程。18碰撞率：在給定時(shí)間間隔內(nèi)，一個(gè)分子（或其他規(guī)定粒子）相對(duì)于其它氣體分子（或其它規(guī)定粒子）運(yùn)動(dòng)，受到的平均碰撞次數(shù)，除以該時(shí)間。這個(gè)平均碰撞次數(shù)是應(yīng)在足夠多的分子數(shù)和足夠長(zhǎng)的時(shí)間間隔下取得。19體積碰撞率：在給定時(shí)間間隔內(nèi)，在圍繞規(guī)定一點(diǎn)的空間范圍內(nèi)，氣體分子間的平均碰撞次數(shù)除以該時(shí)間和該空間范圍體積。所取時(shí)間間隔和體積不應(yīng)太小。20氣體量：處于平衡狀態(tài)的理想氣體所占有的體積同其壓力的乘積。此值必須注明氣體溫度或換算成20時(shí)的數(shù)值。（注：氣體量是指該量氣體所占體積內(nèi)氣體內(nèi)稟能量（或位能）的2/3。21氣體

4、的擴(kuò)散：氣體由于濃度梯度而在另一種介質(zhì)中的運(yùn)動(dòng)。介質(zhì)可以是另一種氣體（這種情況下的擴(kuò)散稱(chēng)之為互擴(kuò)散）或者是可凝聚物質(zhì)。22擴(kuò)散系統(tǒng)：通過(guò)單位面積的質(zhì)量流率的絕對(duì)值同該單位面積的法向濃度梯度之比。23粘滯流：氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)小于導(dǎo)管最小截面尺寸的流態(tài)。因此，流動(dòng)取決于氣體的粘滯性，粘滯流可以是層流或滯流。24粘滯系數(shù)：在氣流速度梯度方向單位面積上的切向力與速度梯度之比。25泊肖葉流：流過(guò)圓截面長(zhǎng)導(dǎo)管的層流粘滯流。26中間流：在層流和分子流之間狀態(tài)下氣體通過(guò)導(dǎo)管的流動(dòng)。27分子流：氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)大于導(dǎo)管截面最大尺寸的流態(tài)。28克努曾數(shù)：氣體分子的平均自由程與導(dǎo)管直徑之比。29分子瀉流

5、：氣體流過(guò)薄壁小孔，其分子的平均自由程較小孔尺寸大得多的情況時(shí)的流動(dòng)狀態(tài)。30流逸：由壓力差引起的氣體通過(guò)多孔物體的流動(dòng)。31熱流逸：在分子流狀態(tài)下，兩個(gè)連通容器由于溫度不同引起了氣體流動(dòng)，當(dāng)氣體傳輸達(dá)到平衡時(shí)，兩個(gè)容器之間產(chǎn)生壓力梯度的現(xiàn)象。32分子流率：在給定時(shí)間間隔內(nèi)，從給定方向穿過(guò)表面的分子數(shù)與從相反方向穿過(guò)該表面的那些分子數(shù)之差，除以該時(shí)間。33分子流率密度：分子流率除以表面面積。34質(zhì)量流率：在給定時(shí)間間隔內(nèi)通過(guò)某一截面的氣體質(zhì)量，除以該時(shí)間。35流量：在給定時(shí)間間隔內(nèi)通過(guò)某一截面的氣體量除以該時(shí)間。36體積流率：在給定溫度、壓力和給定時(shí)間間隔的條件下通過(guò)某截面的氣體體積，除以該時(shí)

6、間。37在給定時(shí)間間隔內(nèi)通過(guò)給定截面的氣體的摩爾數(shù)，除以該時(shí)間。38麥克斯韋速度分布：由麥克斯韋波爾茲曼速度分布函數(shù)確定的一種速度分布。即氣體分子在一定溫度下處于平衡態(tài)和到器壁的距離大于分子平均自由程時(shí)的速度分布。39傳輸幾率：無(wú)規(guī)律地進(jìn)入導(dǎo)管入口的分子通過(guò)出口的幾率。40分子流導(dǎo)：氣體通過(guò)管的兩規(guī)定截面或孔流動(dòng)的分子流導(dǎo)為：其分子流率與管的兩截面或孔的兩側(cè)的平均分子數(shù)密度差之比。41流導(dǎo)：在等溫條件下，氣體通過(guò)導(dǎo)管或孔流動(dòng)時(shí)，其流量與導(dǎo)管的兩規(guī)定截面或孔的兩側(cè)的平均壓力差之比。42固有流導(dǎo)：在容器中麥克斯韋速度分布占優(yōu)勢(shì)的條件下，連接這樣兩個(gè)容器的導(dǎo)管（或小孔）的流導(dǎo)。在分子流條件下，它等于

7、入口流導(dǎo)與傳輸幾率之積。43流阻：流導(dǎo)的倒數(shù)。44吸附：固體或液體（吸附劑）對(duì)氣體或蒸汽（吸附質(zhì)）的捕集現(xiàn)象。45表面吸附：氣體或蒸汽（吸附質(zhì)）存留在固體或液體（吸附劑）表面上的吸附現(xiàn)象。46物理吸附：由于物理作用的吸附現(xiàn)象。47化學(xué)吸附：由于化學(xué)作用的吸附現(xiàn)象。48吸收：氣體或蒸汽（吸附質(zhì)）擴(kuò)散進(jìn)入到固體或液體（吸附劑）內(nèi)部的現(xiàn)象。49適應(yīng)系數(shù)：入射到某一表面的粒子和該表面實(shí)際交換的平均能量與粒子在該表面上達(dá)到完全的熱平衡條件所應(yīng)當(dāng)交換的平均能量之比。50入射率：在給定時(shí)間間隔內(nèi)，入射到表面的分子數(shù)，除以該時(shí)間和該表面面積。51凝結(jié)率：在給定時(shí)間間隔內(nèi)凝結(jié)在某一表面積上的分子數(shù)（或物質(zhì)量或物

8、質(zhì)質(zhì)量），除以該時(shí)間和該表面面積。52粘著率：在給定時(shí)間間隔內(nèi)表面上吸附的分子數(shù)，除以該時(shí)間和該表面面積。53粘著幾率：粘著率與入射率之比。54滯留時(shí)間：分子在表面上以吸附狀態(tài)被約束的平均時(shí)間。55遷移：分子在表面上的移動(dòng)。56解吸：被材料吸附的氣體或蒸汽的釋放現(xiàn)象。釋放可以是自然的，也可用物理方法加速。57去氣：氣體從材料中人為的解吸。58放氣：氣體從材料中自然的解吸。59解吸氣或放氣或去氣速率：在給定時(shí)間間隔內(nèi)，從材料中解吸（或放氣或去氣）的氣體流量（或分子流率），除以該時(shí)間和該表面面積。60蒸發(fā)率：在給定時(shí)間間隔內(nèi)從表面上蒸發(fā)的分子數(shù)（或物質(zhì)量或物質(zhì)質(zhì)量）除以該時(shí)間和該表面面積。61滲透：氣體通過(guò)固體阻擋層的現(xiàn)象。該現(xiàn)象包括氣體通過(guò)固體的擴(kuò)散，也可以包括其它的表面現(xiàn)象。62滲透率：在穩(wěn)定流動(dòng)的條件下，氣體通過(guò)阻擋層（如器壁）的流量除以阻擋層兩側(cè)壓力函數(shù)的量，該函數(shù)形式取決于實(shí)際滲透所涉及的物理過(guò)程。63滲透系數(shù)：滲透率與阻擋層厚度之積，除以滲透表面積。