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電阻應(yīng)變片的壓力傳感器設(shè)計.doc

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電阻應(yīng)變片的壓力傳感器設(shè)計.doc

湖 南 科 技 大 學(xué)傳 感 器 課 程 設(shè) 計題目作者學(xué)院機電工程學(xué)院專業(yè)測控技術(shù)與儀器學(xué)號指導(dǎo)教師楊書儀 凌啟輝二一七 年 六 月 十 日湖南科技大學(xué)本科生課程設(shè)計摘要應(yīng)變式傳感器應(yīng)用廣泛,很多地方都得以應(yīng)用,而本次課程設(shè)計的重點是設(shè)計一個應(yīng)變片柱式傳感器用來稱重。研究的重點是傳感器的基本原理,其中包括基本的理論分析、彈性元件的選材、彈性元件的尺寸設(shè)計、應(yīng)變的選材、應(yīng)變校驗等。課程設(shè)計的內(nèi)容包括:掌握和了解相關(guān)傳感器的基本測量方法和研究動態(tài)、制定傳感器測量方案、進行必要的理論計算分析、用CAD對傳感器結(jié)構(gòu)及零件進行設(shè)計、對轉(zhuǎn)換電路進行計算和設(shè)計等。關(guān)鍵詞:圓柱式、應(yīng)變片、稱重、形變- -目錄一、工作原理及特點1 1、工作原理1 2、測量特點1二、柱式傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計2 1、彈性元件材料的選定及要求2 2、彈性元件材料的處理3 3、幾種應(yīng)變片的比較及選定3 4、應(yīng)變片材料的選定及要求4三、相關(guān)理論分析6 1、彈性敏感元件的特性參數(shù)計算6 2、應(yīng)變片參數(shù)的計算7 3、彈性元件變形與應(yīng)變片電阻值關(guān)系7四、電路的設(shè)計9參考文獻10 一、工作原理及特點一、 工作原理基本測量原理是將被測的非電量轉(zhuǎn)換成電阻值的變化。也就是利用金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng)(金屬絲在受外力作用下發(fā)生機械變形時,其電阻值將發(fā)生變化)將測量物體變形轉(zhuǎn)換城電阻值的變化,再由轉(zhuǎn)換電路變成點亮的輸出。引起的電阻阻值變化R,伸長量l,電阻率變化量,橫截面積相應(yīng)減少量S;則有: (1-1)式中的l/l為電阻式的軸向應(yīng)變,用表示,徑向應(yīng)變?yōu)閞/r ,電阻絲的縱向伸長和橫向收縮關(guān)系用泊松比表示為r/r=-(L/L) (1-2)式(1-2)中,k0稱為金屬電阻的靈敏系數(shù),k0受兩個因素影響:一個是(1+2),它由材料的幾何尺寸決定;另一個是/(),它表示材料的電阻率隨應(yīng)變而變化。對金屬材料而言,前者為主,其k01+2。實驗表明,在金屬電阻絲拉伸比例極限內(nèi),電阻相對變化與橫向應(yīng)變成正比。通常金屬絲的靈敏系數(shù)k0 = 2左右。二、 測量特點以電阻應(yīng)變片和敏感元件組成。將電阻應(yīng)變片粘貼在彈性敏感元件上,當(dāng)彈性敏感元件在測量時其表面會出現(xiàn)變形,導(dǎo)致其表面附著的電阻應(yīng)變片的阻值隨之變化,與之相應(yīng)的測量轉(zhuǎn)換電路將這一非電量的變化轉(zhuǎn)化為電量輸出。該類型傳感器具有以下特點:精度高,測量范圍廣,適合靜態(tài)和動態(tài)測量;使用壽命長,性能可靠穩(wěn)定;結(jié)構(gòu)簡單,尺寸小。 二、柱式傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計柱式傳感器的彈性元件分為實心和空心。應(yīng)變片粘貼在彈性體外壁應(yīng)力均勻的中間部分,并均勻?qū)ΨQ地粘貼多片。因為彈性元件的高度對傳感器的精度和動態(tài)特性有影響。根據(jù)材料力學(xué)分析和試驗研究的結(jié)果,對實心圓柱,一般H2D+l,而空心圓柱一般取HD-d+l,式中H為圓柱體高度,D為圓柱外徑,d為空心圓柱內(nèi)徑,l為應(yīng)變片基長。柱式傳感器結(jié)構(gòu)簡單,可以測量大的拉壓力,最大可達107N。在測103 105N時,為了提高變換靈敏度和抗橫向干擾,一般采用空心圓柱式結(jié)構(gòu)。一、彈性元件材料的選定及要求彈性形變的定義:是指固體受外力作用而使各點間相對位置的改變,當(dāng)外力撤消后,固體又恢復(fù)原狀謂之彈性形變。這種物體稱為彈性元件或彈性體。彈性敏感元件在傳感器中占據(jù)很重要的地位。在傳感器工作過程中,一般是由彈性敏感元件將非電量轉(zhuǎn)換成彈性元件的形變,然后配合轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換成電量。所以說彈性元件在傳感器中應(yīng)用是十分廣泛的。為了適合本課程設(shè)計的要求,對彈性材料提出以下要求:具有高強度、高彈性特性;溫度變化系數(shù)小、熱膨脹系數(shù)小、時間穩(wěn)定性好;具有小的彈性滯后;組織均勻,熱處理后的殘存應(yīng)力小;沖擊韌性好,加工工藝性好;具有抗氧化性。參照新編傳感器手冊得下表:材料鈹青銅QBe17-4PH不銹鋼恒彈性合金3J53密度g/ cm38.257.808.0屈服極限MPa103018501250彈性模量MPa13410319510370103線膨脹系數(shù)at /10-6-117.610.87.5-8.1泊松比0.320.2720.30機械品質(zhì)因數(shù)1000彈性模量溫度系數(shù)3510-5/表1根據(jù)應(yīng)變式傳感器的使用特性和性能指標(biāo),本次設(shè)計采用17-4PH不銹鋼作為彈性元件的制作材料。主要是因為該材料具有以下特點:合金是沉淀、淬水、馬氏體的不銹鋼,且具有高強度、硬度和抗腐蝕等特性經(jīng)過熱處理后,材料的特性將更加完善。二、彈性元件材料的處理為了提高彈性材料的強度和韌勁,要進行熱處理。對17-4PH不銹鋼進行H900熱工藝處理:1、預(yù)熱,加熱溫度:85010,保溫時間:355min。2、固溶,加熱溫度:10405,保溫時間:805min;真空度:130Pa;油冷,油溫:2570,油中停留時間:102min。3、清洗,將零件浸入80100的清洗槽中清洗2030min,出槽后浸入2040的漂洗槽中漂洗25min,出槽后晾干或吹干。4、時效,加熱溫度:4805,保溫時間:25010min,空冷到室溫。之后采用反復(fù)加載和機械振動的方法,可以釋放材料內(nèi)部的應(yīng)力三、幾種應(yīng)變片的比較及選定1、金屬絲式應(yīng)變片金屬絲式應(yīng)變片有回線式和短接式兩種?;鼐€式應(yīng)變片它的敏感柵絲直徑在0.012 0.05mm,以0.025mm左右為最常用,回線的曲率半徑r為0.10.3mm,基片用厚度為0.03mm左右的薄紙(稱紙基),或用粘結(jié)劑和有機樹脂基膜制成(稱膠基),粘貼性能好,能保證有效的傳遞變形。引線多用0.150.30mm直徑的鍍錫銅線與敏感柵相接。因制作簡單,性能穩(wěn)定,成本低,易粘貼,所以最為常用。但因彎曲部分的變形使橫向效應(yīng)增大。為了克服橫向效應(yīng),有短接式應(yīng)變片。其兩端用直徑比柵絲直徑粗5 10倍的鍍銀絲短接而成。由于焊點多,易在焊點處出現(xiàn)疲勞損壞,制造工藝要求高,故使用較少。絲式應(yīng)變片敏感柵的材料的要求是:靈敏系數(shù)高,電阻率高,穩(wěn)定好,溫度系數(shù)小,機械強度高,抗氧化,耐腐蝕。常用的材料有錳白銅(亦稱康銅),鎳鉻合金,鎳鉻鋁合金,鐵鎳鉻合金以及貴金屬(鉑、鉑鎢合金)等。2、金屬箔式應(yīng)變片金屬箔式應(yīng)變片是在絕緣基底上,將厚度為0.003 0.01mm電阻鉑材,利用照相制版或光刻腐蝕的方法,制成適用于各種需要的形狀。它的優(yōu)點是:可以制成多種復(fù)雜形狀尺寸準確的敏感柵,柵長l最小可做到0.2mm,以適應(yīng)不同的測量要求;與被測試件接觸面積大,粘結(jié)性能好。散熱條件好,允許電流大,提高輸出靈敏度;橫向效應(yīng)可以忽略;蠕變、機械滯后下,疲勞壽命長。目前箔式應(yīng)變片得到了廣泛應(yīng)用,現(xiàn)在已基本取代金屬絲電阻應(yīng)變片。它的主要缺點是電阻值的分散性大,有的能相差幾十歐姆,故需要做阻值調(diào)整。3、金屬薄膜應(yīng)變片金屬薄膜應(yīng)變片是薄膜技術(shù)發(fā)展的產(chǎn)物。它是采用真空蒸發(fā)或真空沉積等方法在薄的絕緣基片上形成厚度在0.1m以下的金屬電阻材料薄膜敏感柵,最后再加上保護層,易實現(xiàn)工業(yè)化批量生產(chǎn),是一種很有前途的新型應(yīng)變片。這種應(yīng)變片的特點是:電阻值比箔式應(yīng)變片高,形狀和尺寸箔式應(yīng)變片更小更精確;他沒有箔式應(yīng)變片腐蝕所引入疵??;制成的結(jié)構(gòu)散熱性好,對于較寬的溫度范圍也可以達到較完善的補償;特別是近年激光調(diào)阻技術(shù)的發(fā)展,提高了電阻值的精度,可達0.01。尤其突出的是:陶瓷絕緣代替了膠接,既避免了復(fù)雜的分選和粘貼技術(shù),而且對膠接法所引入的漂移、蠕變、疲勞弱點都有很大的克服。4、半導(dǎo)體應(yīng)變片利用半導(dǎo)體材料做成的壓阻式傳感器有兩種類型:一種是利用半導(dǎo)體材料的體電阻做成的粘貼式應(yīng)變片;另一類是在半導(dǎo)體材料的基片上用集成電路工藝制成擴散電阻,稱擴散型壓阻傳感器。壓阻傳感器的靈敏系數(shù)大,分辨率高,頻率響應(yīng)高,體積小。它主要用于測量壓力、加速度和載荷等參數(shù)。因為半導(dǎo)體材料對溫度很敏感,因此該類傳感器的溫度誤差較大,必須要有溫度補償。對于金屬箔式應(yīng)變片,橫向效應(yīng)較小,因而提高了應(yīng)變測量的精度,故允許通過較大的電流,因而可以有較大的輸出,提高了測量靈敏度。綜合一些金屬箔式應(yīng)變片的優(yōu)點,和考慮到工藝技術(shù)的有限及性價比問題,該次設(shè)計采用金屬箔式應(yīng)變片。四、應(yīng)變片材料的選定及要求1、敏感柵材料制造應(yīng)變片時,對敏感材料的要求:靈敏系數(shù)Ks和電阻率要盡可能高而穩(wěn)定,電阻變化率R/R與機械應(yīng)變之間應(yīng)具有良好而寬廣的線性關(guān)系,即要求Ks在很大范圍內(nèi)為常數(shù);電阻溫度系數(shù)小,電阻溫度之間的線性關(guān)系和重復(fù)性好;機械強度高,碾壓及焊接性能好,與其他金屬之間接觸熱電勢??;抗氧化、耐腐蝕性能強,無明顯機械滯后。制作應(yīng)變片敏感柵常用的材料有康銅、鎳鉻合金、鐵鉻鋁合金、鐵鎳鉻和金、貴金屬(鉑、鉑鎢合金)材料等,材料性能見下表:名稱牌號及成分/(mm2/m)/(10-6/)Kss/(10-6mm/)最高使用溫度/康銅Ni45Cu550.450.52201.92.115300(靜態(tài))400(動態(tài))鎳鉻合金Cr20Ni801.01.11101302.12.314450(靜態(tài))800(動態(tài))卡瑪6J22Ni74Cr20Fe3AB1.241.42202.42.613.3450(靜態(tài) )800(動態(tài))伊文6J23Ni75Cr20A13Cu21.241.42202.42.613.3450(靜態(tài) )800(動態(tài))鐵鉻鋁合金Fe70Cr25A151.31.519402.32.814550(靜態(tài))1000(動態(tài))貴金屬PtPt92W80.090.110.683900227463.58.98.39.2800(靜態(tài))1000(動態(tài))表2基于上述材料的性能比較分析,選用鎳鉻合金作為敏感柵材料。2、應(yīng)變片基底材料及引線材料對基底材料性能有如下要求:機械強度好,撓性好;粘貼性能好;電絕緣性能好;熱穩(wěn)定性能好和抗?jié)裥院?;無滯后和蠕變。應(yīng)變片基底材料有紙和聚合物兩大類,紙基逐漸被膠基(有機聚合物)取代,因為膠基各方面性能都好于紙基。膠基是由環(huán)氧樹脂、酚醛樹脂和聚酰亞胺等制成膠膜,厚約0.030.05mm。引線材料采用鎳鉻合金材料。三、相關(guān)理論分析計算一、彈性敏感元件的特性參數(shù)計算柱式彈性元件的特點是結(jié)構(gòu)簡單,可承受很大的載荷,根據(jù)截面形狀可分為實心截面和空心截面,而本次課程設(shè)計采用空心截面。在力的作用下,它以應(yīng)變作為輸出量。在承受軸向作用力F時,在與軸線成角的截面上所產(chǎn)生的應(yīng)變、應(yīng)力為 (3-1) (3-2)因此在軸向(=0)所產(chǎn)生的應(yīng)力、應(yīng)變?yōu)?(3-3) (3-4)橫向(=90)所產(chǎn)生的應(yīng)力、應(yīng)變?yōu)?(3-5) (3-6)有查表得知,彈性元件17-4PH不銹鋼的屈服極限s=1850MPa,若取安全系數(shù)n=3.7,可求彈性元件的許用應(yīng)力 彈性元件空心圓柱的截面面積空心圓柱的內(nèi)徑和外徑的確定??紤]構(gòu)建的穩(wěn)定性以及加工的難易程度,還有對于金屬箔式應(yīng)變片在外徑上的粘貼情況,使貼片部分應(yīng)力均勻,空心圓柱長度L=(22.5)D ,現(xiàn)取內(nèi)徑d=20mm ;為保證圓柱加工的簡單,適當(dāng)調(diào)整D的大小,取D=25mm,取L=2D=50mm重新計算空心圓柱截面面積:綜上所述,最終選取17-4PH不銹鋼制成空心圓柱的內(nèi)徑d=20mm,外徑D=25mm,圓柱的高度L=50mm,截面面積A=177mm2。二、應(yīng)變片參數(shù)的計算應(yīng)變片內(nèi)敏感柵材料的直徑范圍為0.010.05mm,其基底很薄,一般在0.03mm左右,能保證有效傳遞變形。查閱一些資料,發(fā)現(xiàn)柵絲的的柵長在0.650mm之間,應(yīng)變片寬度在18mm之間。柵絲材料選擇鎳鉻合金,該材料的靈敏系數(shù)2.12.3?,F(xiàn)選取敏感柵截面積為0.001mm2,取柵絲長10mm,應(yīng)變片寬度取3.3mm,取靈敏系數(shù)為2.2。鎳鉻合金的的電阻率=(1.01.1)mm2/m ,取電阻率為1.0mm2/m。應(yīng)變片的電阻值已經(jīng)趨于標(biāo)準化,有60,120,350,600,和1000各種阻值,其中以120最常使用,所以該應(yīng)變片設(shè)計也采用120阻值。金屬絲電阻阻值的計算公式 (3-7)求出金屬絲的總長度 將這120mm的繞成12段,每一段10mm關(guān)于箔式應(yīng)變片最后的設(shè)計結(jié)果是:電阻值基長*基寬柵長*柵寬靈敏系數(shù)基底材料柵絲材料12014.2*4.1mm10*3.3mm2.2膠基鎳鉻合金應(yīng)變片的模板大致如下圖 :圖1 應(yīng)變片圖三、彈性元件變形與應(yīng)變片電阻值關(guān)系在空心圓柱外圓壁上豎直對稱貼上4片應(yīng)變片,并在這4個應(yīng)變片下面橫向貼上一個應(yīng)變片。當(dāng)重物產(chǎn)生的重力作用在空心圓柱上時,空心圓柱發(fā)生彈性變形,空心圓柱的變形導(dǎo)致豎直粘貼在外壁上的應(yīng)變片也跟著發(fā)生同樣的變形,金屬絲變形導(dǎo)致電阻值變化,通過電橋電路從而轉(zhuǎn)換成電量的輸出,而橫向粘貼的應(yīng)變片并不發(fā)生應(yīng)變形變,只做溫度補償?shù)淖饔?。外力作用在空心圓柱引起的變形量圓柱彈性形變,一個應(yīng)變片12段柵絲產(chǎn)生的總變形為12,此時的柵絲總長度為120-12mm根據(jù)金屬絲變形前后的體積不變,可得 電阻值的變化(減小)R根據(jù)電橋電路,將阻值的變化轉(zhuǎn)換成電量輸出:圖2 電橋電路圖將R1與R3串聯(lián),R2與R4串聯(lián)放在相應(yīng)的臂上,用來減少彎矩的影響,而橫向貼片只做溫度補償作用,用12V恒壓源對電橋進行供電。因為四個橋臂的電阻阻值都相等,又因為是差動式電橋,所以輸出電壓為:輸出電壓與重物重力的關(guān)系:四、電路的的設(shè)計采用三運放高共模抑制比放大電路:圖3 三運放高共模抑制比放大電路輸出電壓與輸入電壓的關(guān)系:- (4-1)利用放大電路將輸入的電壓放大15倍?,F(xiàn)選取轉(zhuǎn)換電路中各電阻的阻值為:R1=R2=100K,R0=10K,R3=R4=140K,R5=R6=100K,R7=R8=10K,RP=20K。參考文獻【1】 最新傳感器實用手冊 ,楊幫文主編,人們郵電出版社,2004年【2】 新編傳感器實用寶典 ,楊幫文主編,機械工業(yè)出版社,2005年【3】 傳感器手冊 ,鮑丙豪編,化學(xué)工業(yè)出版社,2007年【4】 傳感器原理、設(shè)計與應(yīng)用 第5版,劉迎春編,國防工業(yè)出版社,2015年【5】 傳感器 第5版,唐文彥主編,機械工業(yè)出版社,2017年【6】 常用傳感器應(yīng)用電路的設(shè)計與實踐 ,何希才主編,科學(xué)出版社,2007年【7】 測控電路 第5版,李醒飛主編,機械工業(yè)出版社,2017年- 10 -

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