中芯寧波200mm特種工藝(晶圓/芯片)N0項目環(huán)境影響評價審批前公示一、建設項目概況項目名稱：中芯寧波200mm特種工藝(晶圓/芯片)N0項目項目性質：新建建設單位：中芯集成電路（寧波）有限公司建設地點：北侖區(qū)小港安居路335號項目概況：項目建成投產后產品8英寸晶圓產能可達15000片/月，項目主要生產工藝包括晶圓裸片清洗微影曝光顯影去膠刻蝕濺鍍褪火平坦化（多達幾十輪循環(huán)，其中涉及純水、特氣、靶材、研磨液、酸堿溶液等物料）晶圓（未切割芯片）成品等工序。二、主要影響分析結論（1）聲環(huán)境影響分析結論預測結果表明：通過上述降噪措施后，廠界四周晝夜間噪聲預測值能夠達到3類標準。本項目周邊200m內均為工業(yè)企業(yè)。因此，本項目生產噪聲對周圍環(huán)境影響不大。（2）大氣環(huán)境影響分析結論根據環(huán)境影響評價技術導則-大氣環(huán)境(HJ2.2-2008)估算模式計算結果，在落實污染治理措施的情況下，項目廢氣污染物的最大地面濃度占標率Pmax=0.39%，小于10%，項目廢氣正常排放對周圍大氣環(huán)境影響較小。（3）水環(huán)境影響分析結論項目各廢水采取分類收集、分質處理、再合并混合處理，CODCr、NH3-N、SS、氟化物、銅等指標均可達到納管標準后，通過標準化排放口排入污水管網，送新周污水處理廠集中處理后排放。項目廢水排放對污水處理廠負荷沖擊和納污水體影響均較小。廢水產生量為1275.68t/d,可直接納管排放。三、污染防治措施項目污染防治措施匯總見下表1。表1 污染防治措施匯總表措施名稱主要內容預期治理效果廢氣酸性廢氣酸性廢氣處理系統(tǒng)處理達標后25m高排氣筒排放。滿足GB16297-1996中新污染源二級標準。堿性廢氣堿性廢氣處理系統(tǒng)處理達標后25m高排氣筒排放。滿足GB16297-1996中新污染源二級標準。有機廢氣有機廢氣處理系統(tǒng)處理達標后25m高排氣筒排放。滿足GB16297-1996中新污染源二級標準。廢水生產廢水生活污水生活污水經化糞池預處理，生產廢水經配套的污水處理站處理，廢水處理規(guī)模為1275.68t/d，處理出水經廠區(qū)總排口排入污水管網，納管廢水最終經新周污水處理廠集中處理后排放。納管執(zhí)行GB8978-1996三級標準，處理后排放執(zhí)行GB18918-2002一級A標準。噪聲車間降噪設計對車間設置空心隔聲墻、雙層隔音窗戶等，車間日常關閉門窗生產。廠界噪聲排放滿足GB12348-2008中3類標準。設備合理布局車間內設備應合理布局，高噪聲設備盡量布置于廠區(qū)中部。設備隔聲降噪對高噪聲的風機，盡量布置在隔聲間內，并在風機座基礎減震，安裝彈性襯墊和保護套；風機進出口管路加裝避震喉；對風機安裝隔聲罩或在進風口安裝消聲器。強化生產管理定期檢查設備，加強設備維護，使設備處于良好的運行狀態(tài)，避免和減輕非正常運行產生的噪聲，做到文明生產；對運輸車輛加強管理和維護，保持車輛良好工況，廠內應該限制車速，禁鳴喇叭，盡量避免夜間運輸。廠界隔聲設計加高、加厚廠界圍墻，并根據噪聲防治設計規(guī)范將廠界圍墻設計成隔聲墻。固廢一般固廢廢靶材邊角料收集外售給廢舊物資回收公司；生活垃圾、廢抹布在廠區(qū)內定點收集，然后委托當地環(huán)衛(wèi)部門統(tǒng)一清運至垃圾填埋廠進行衛(wèi)生填埋。資源化，無害化，不造成二次污染。危險廢物部分廢液加入廠區(qū)廢水處理站由企業(yè)自行處理；廢活性碳、廢液、廢包裝材料等危險廢物需委托有資質的危廢處理單位進行安全處置。風險要求企業(yè)新建一個不小于32m3的事故應急池，以備廠區(qū)內發(fā)生事故時使用，并落實事故、消防水的收集系統(tǒng)，廠區(qū)所有外排管道均設置切斷裝置和應急設施，確保一旦意外事故，所有污水均能收集，避免流入附近河道。四、環(huán)境影響評價結論中芯集成電路（寧波）有限公司“中芯寧波200mm特種工藝(晶圓/芯片)N0項目”位于北侖區(qū)小港安居路335號。項目建設符合環(huán)境功能區(qū)規(guī)劃的要求；排放污染物符合國家、省規(guī)定的污染物排放標準，符合總量控制指標；造成的環(huán)境影響符合建設項目所在地環(huán)境功能區(qū)劃確定的環(huán)境質量要求；同時，項目建設符合主體功能區(qū)規(guī)劃、土地利用規(guī)劃、城鄉(xiāng)規(guī)劃的要求；符合國家和省產業(yè)政策等的要求；符合“三線一單”要求。項目實施過程中，企業(yè)應加強環(huán)境質量管理，認真落實環(huán)境保護措施，采取相應的污染防治措施，能使廢水、廢氣、噪聲達標排放，固廢得到安全處置，則本項目的建設對環(huán)境影響較小，能基本維持當地環(huán)境質量現狀。從環(huán)境保護角度看，本項目的建設是可行的。