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1、上一頁 回首頁 下一頁 回末頁 回目錄 第 六 章 激 光 在 精 密 測 量 中 的 應(yīng) 用 6. 1 激 光 干 涉 測 長 6.1.1 干涉測長的基本原理 1. 激光干涉測長的基本光路是一個邁克爾遜干涉儀 ,如圖 6-1示 ,用干涉條紋來反 映被測量的信息。兩束光的光程差可以表示為 j M J j N i ii lnln 11 圖 6-1 激光干涉測長儀的原理圖 2NL 2.被測長度與干涉條紋變化的次數(shù)和干涉儀所用光源波長之間的關(guān)系是 3.從測量方程出發(fā)可以對激光干涉測長系統(tǒng)進行基本誤差分析 NLNNLL 即 上一頁 回首頁 下一頁 回末頁 回目錄 第 六

2、章 激 光 在 精 密 測 量 中 的 應(yīng) 用 6. 1 激 光 干 涉 測 長 6.1.2 激光干涉測長系統(tǒng)的組成 1. 除了邁克爾遜干涉儀以外，激光干涉測長系統(tǒng)還包括激光光源，可移動平臺， 光電顯微鏡，光電計數(shù)器和顯示記錄裝置。 2.邁克爾遜干涉儀是激光干涉測長系統(tǒng)的核心部分，其分光器件、反射器件和總 體布局有若干可能的選擇。 3. 移相器也是干涉儀測量系統(tǒng)的重要組成部分。常用的移相方法有機械移相（圖 6-4），翼形板移相，金屬膜移相和偏振法移相。 圖 6-4 機械法移相原理圖 上一頁 回首頁 下一頁 回末頁 回目錄 第 六 章 激 光 在 精 密 測 量 中 的 應(yīng) 用

3、 6. 1 激 光 干 涉 測 長 6.1.2 激光干涉測長系統(tǒng)的組成 7.干涉條紋計數(shù)時，通過移相獲得兩路相差 /2的干涉條紋的光強信號，該信號 經(jīng)放大，整形，倒向及微分等處理 ,可以獲得四個相位依次相差 /2的脈沖信號 （圖 6-5）。 圖 6-5 判向計數(shù)原理框圖 上一頁 回首頁 下一頁 回末頁 回目錄 第 六 章 激 光 在 精 密 測 量 中 的 應(yīng) 用 6. 1 激 光 干 涉 測 長 6.1.3 激光干涉測長的其它方法 1. 第三反射鏡系統(tǒng)的激光干涉測長儀 圖 6-6 第三反射鏡系統(tǒng)儀的激光干涉 2.利用兩個激光器輸出的兩束激光的干涉來測量非常微小的移動的測量裝置。 圖 6-7 利用兩束激光的干涉測量微小移動