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2、傳感器技術 加速度傳感器,MEMS,目錄,Group 3,篇前語,MEMS是什么?加速度傳感器與MEMS什么關系? 微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng) 微機電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結構、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。,Group 3,概述,加速度傳。
3、LOGO傳感器技術 加速度傳感器MEMS LOGO 目錄簡述加速度傳感器1電阻式加速度傳感器2電容式加速度傳感器3 其他類型加速度傳感器4 Group 3 LOGO 篇前語vMEMS是什么加速度傳感器與MEMS什么關系微機電系統(tǒng)MEMS, 。
4、第 10卷 第 17期 2010年 6月 1671218152010 1724293203科學技術與工程Science Technol ogy and EngineeringVol 110 No 117 June20102010 Sci 1。
5、微系統(tǒng)設計與應用加速度傳感器的原理與構造班 級:2012機自實驗班指導教師:xxx小組成員:xxxxx大學機械工程學院二OO五年十一月摘 要隨著硅微機械加工技術MEMS的迅猛發(fā)展,各種基于MEMS技術的器件也應運而生,目前已經得到廣泛應用的。