全自動真空包裝機設(shè)計【含CAD圖紙+文檔】
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摘 要自動真空包裝機利用輸送帶作為包裝機的工作臺和輸送裝置。輸送帶可作步進運動,它的真空室蓋在輸送帶上方,托板在輸送帶下方,合攏時形成真空室,而輸送帶則夾在中間。輸送帶上有使包裝袋定位的擋板。只要將盛有包裝物品的包裝袋排放在輸送帶上,便可自動完成抽真空,熱封。真空包裝機是以塑料或塑料鋁箔薄膜為包裝材料,對液體、固體、粉狀糊狀的食品、糧食、果品、醬菜、果脯、化學(xué)藥品、藥材、電子元件、精密儀器、稀有金屬等進行真空包裝,經(jīng)真空包裝的物品可以防止氧化、霉變、蟲蛀、腐爛、受潮,延長保質(zhì)保鮮期限。特別適用于茶葉、食品、醫(yī)藥、商店、研究機構(gòu)等行業(yè),具有外型美觀、結(jié)構(gòu)緊湊、效率高、操作簡便等優(yōu)點。關(guān)鍵詞:真空包裝機;輸送帶;熱封ABSTRACTAutomatic vacuum packaging machine conveyor belt as a workbench for packaging machines and conveyors. The conveyor belt can be used as a stepping movement, cover it in a vacuum chamber above the conveyor, the pallet in the conveyor belt below, together and form a vacuum chamber, the conveyor belt in the middle. The conveyor belt on the positioning of the baffle bags. As long as will be filled with bags of packaged goods emissions can be done automatically on a conveyor belt, vacuum, heat sealing. The vacuum packaging machine is a plastic or plastic foil film for packaging materials, liquid, solid, powder, paste food, grain, fruit, pickles, preserved fruits, chemicals, medicine, electronic components, precision instruments, rare metals such as vacuum packaging, vacuum packaging items can prevent oxidation, mold, insects, rot, damp, and to extend the shelf life of fresh deadline. Especially suitable for tea, food, medicine, shops, research institutions and industry, with good looks, compact, high efficiency, easy to operate.Keywords: vacuum packaging machine; conveyor belt; heat sealing目 錄第一章 真空包裝機的作用機理1第二章 全自動真空包裝機的設(shè)計任務(wù)要求及設(shè)計依據(jù)22.1設(shè)計任務(wù)要求22.2設(shè)計依據(jù)2第三章 全自動真空包裝機的主要結(jié)構(gòu)及工作原理33.1主機結(jié)構(gòu)33.2工作原理3第四章 上箱箱體的設(shè)計4第五章 擺桿的設(shè)計6第六章 箱體的設(shè)計7第七章 底架的設(shè)計9第八章 傳動系統(tǒng)設(shè)計108.1輸送帶系統(tǒng)108.2室蓋開閉運動108.3選擇電動機類型118.4軸的設(shè)計計算118.5鏈傳動系統(tǒng)設(shè)計計算128.5.1系統(tǒng)的傳動比128.5.2計算功率128.5.3確定鏈條鏈節(jié)數(shù)128.5.4確定鏈條的節(jié)距P128.5.5確定鏈長L及中心距a12第九章 聯(lián)軸器的設(shè)計15第十章 主要參數(shù)的計算及選擇1610.1生產(chǎn)能力的計算1610.1.1抽真空時間的計算1610.1.2真空室放氣時間的計算1710.2熱風(fēng)加壓裝置面積的計算1710.3熱封變壓器參數(shù)的計算17設(shè)計小結(jié)19致 謝20參考文獻21第一章 真空包裝機的作用機理真空包裝的主要作用是除氧,以有利于防止食品變質(zhì),其原理也比較簡單,因食品霉腐變質(zhì)主要由微生物的活動造成,而大多數(shù)微生物(如霉菌和酵母菌)的生存是需要氧氣的,而真空包裝就是運用這個原理,把包裝袋內(nèi)和食品細(xì)胞內(nèi)的氧氣抽掉,使微生物失去生存的環(huán)境。實驗證明:當(dāng)包裝袋內(nèi)的氧氣濃度1%時,微生物的生長和繁殖速度就急劇下降,氧氣濃度0.5%時,大多數(shù)微生物將受到抑制而停止繁殖。真空除氧除了抑制微生物的生長和繁殖外,另一個重要功能是防止食品氧化,因油脂類食品中含有大量不飽和脂肪酸,受氧的作用而氧化,使食品變味、變質(zhì),此外,氧化還使維生素A和C損失,食品色素中的不穩(wěn)定物質(zhì)受氧的作用,使顏色變暗。所以,除氧能有效地防止食品變質(zhì)。真空充氣包裝則除了有真空包裝所具備的除氧保質(zhì)功能外,主要還有抗壓、阻氣、保鮮等作用,能更有效地使食品長期保持原有的色、香、味、形及營養(yǎng)價值。另外,有許多食品不適宜采用真空包裝而必須采用真空充氣包裝。如松脆易碎食品,易結(jié)塊食品,易變形走油食品,有尖銳棱角或硬度較高會刺破包裝袋的食品等。食品經(jīng)真空充氣包裝后,包裝袋內(nèi)充氣壓強大于包裝袋外大氣壓強,能有效地防止食品受壓破碎變形并不影響包裝袋外觀及印刷裝潢。 真空充氣包裝在真空后再充入氮氣、二氧化碳、氧氣等單一氣體或二、三種氣體的混合氣體。其氮氣是惰性氣體,起充填作用,使袋內(nèi)保持正壓 ,以防止袋外空氣進入袋內(nèi),對食品起到一個保護作用。其二氧化碳能夠溶于各類脂肪或水,引成酸性較弱的碳酸,有抑制霉菌、腐敗細(xì)菌等微生物的活性。其氧氣具有抑制厭氧菌的生長繁殖,保持水果、蔬菜的新鮮及色彩,高濃度氧氣可使新鮮肉類保持其鮮紅色。第二章 全自動真空包裝機的設(shè)計任務(wù)要求及設(shè)計依據(jù)2.1設(shè)計任務(wù)要求根據(jù)給定的設(shè)計參數(shù),設(shè)計性能可靠,結(jié)構(gòu)合理的真空包裝機。1. 翻譯一萬字符的外文資料。2. 編訂詳細(xì)的設(shè)計說明書。3. 完成總裝配圖,上箱部件圖及氣路圖。2.2設(shè)計依據(jù)1. 真空室的最低絕對壓強;2. 袋寬,袋長,袋厚;3. 封口寬度;4. 工作循環(huán)標(biāo)準(zhǔn)周期20秒,可調(diào)節(jié);5. 熱風(fēng)時間調(diào)節(jié)范圍1-5秒;6. 額定總功率3.75KW;7. 水平位置即可傾斜度1-20;8. 外形尺寸(長寬高)。第三章 全自動真空包裝機的主要結(jié)構(gòu)及工作原理3.1主機結(jié)構(gòu)主要由機架、真空箱、氣路、輸送四個部分組成。3.2工作原理(1) 將裝有物品的包裝袋放在輸送帶給你工作面上,以下的作業(yè)過程便由該機自動生成,作業(yè)過程如下示: 啟動輸送帶向前真空箱下降抽真空熱封冷卻放氣真空箱上升(2) 氣路構(gòu)成及工作原理如圖示。氣路系統(tǒng)由真空泵(ZK-15型)、壓差閥、電磁閥組成。本機采用的是以差壓閥為主閥的氣路系統(tǒng)。工作原理是先啟動按鈕、真空泵和電磁閥d啟動,等合上真空箱后,電磁閥b和電磁閥c同時啟動,壓差閥的閥門打開,真空箱和小氣室同時抽真空,抽到預(yù)定的真空度后,電磁閥c停止,上電熱帶座下壓,電熱帶通過電熱封塑料薄膜袋口,電磁閥b停止,壓差閥的閥門便關(guān)閉,同時電磁閥a開啟放氣,然后真空箱上升。圖3-1 氣路圖真空泵 選用ZX-15型,抽泣速率15升/秒,極限真空托配用電動機功率1.5kw。第四章 上箱箱體的設(shè)計上箱是真空包裝機上的一個主要零部件,它的設(shè)計好壞關(guān)系到整個機器的成敗。上箱箱體上開有孔、槽、螺孔,以便于安裝小氣室、抽氣管、導(dǎo)線及輔助機構(gòu)。另外主要考慮降低箱體重量,密封性好,還要便于裝配。確定箱體如下:材料:HT200,鑄造而成箱體(長寬高)為,壁厚18mm,凸臺處厚25mm。箱體大致結(jié)構(gòu)如下:4-1 上箱箱體由于要考慮密封,通孔結(jié)構(gòu)要有密封圈和密封套,桿螺紋孔不要打通。由于要抽真空,鑄件的要求高,即要求鑄件無夾渣、氣孔及裂縫。氣孔、接線柱及小頂蓋的安裝密封如下:4-2 通孔結(jié)構(gòu)其中加熱片和熱封下壓條絕緣結(jié)構(gòu)如下:4-3 加熱片和熱封下壓條絕緣結(jié)構(gòu)加熱片在使用過程中會產(chǎn)生伸長影響包裝質(zhì)量,需要的拉緊結(jié)構(gòu)如下圖示:4-4 拉緊結(jié)構(gòu)第五章 擺桿的設(shè)計在包裝過程中,上箱的打開和閉合由擺桿通過偏心輪帶動其運動來完成,擺桿及偏心輪尺寸設(shè)計如下:5-1 擺桿及偏心輪尺寸設(shè)計擺桿的擺動高度S即是上箱的工作高度,因為工作的袋高為,因此可以?。怀醪饺?,,求偏心輪的偏小距e。求滑動槽的長度取余量得,取系量5.3mm,得.第六章 箱體的設(shè)計對于箱體的設(shè)計,出于簡單實用的考慮,采用鋼板、角鋼及槽鋼通過焊接和螺釘連接組成,這樣,既滿足了功能要求,又提高了便用經(jīng)濟性,維修方便,維護費用少,成本低。基本結(jié)構(gòu)如下:6-1 箱體基本結(jié)構(gòu)A向其中兩支小角鋼既起支承作用,又方便側(cè)板的安裝及拆卸、裝卸由兩手在裝卸孔(B向)扳動鋼板,簡單方便。6-2 箱體基本結(jié)構(gòu)B向底下兩根槽鋼總要起整體、托重的作用,與小箱的底板通過焊接進行聯(lián)接,而且其中一根還可和千斤頂聯(lián)接完成傾斜角的作用。內(nèi)側(cè)面板上水平平行焊接的兩根槽鋼,主要用來支承托板,而且可以提高由鋼板構(gòu)成的箱體的可靠性。電機、減速箱、壓差閥的線路布置,主要在兩側(cè)小箱體內(nèi)進行,工作構(gòu)件部分主要在中間,圖示如下:6-3 電機、減速箱、壓差閥的線路布置第七章 底架的設(shè)計底架也由槽鋼、角鋼及鋼板構(gòu)成,結(jié)構(gòu)如下:7-1 槽鋼、角鋼及鋼板結(jié)構(gòu)鋼板D為上箱體及下架聯(lián)系的介質(zhì),通過螺孔1和2聯(lián)接,箱體傾斜也由鋼板D完成,其中螺栓2為調(diào)節(jié)后鎖緊作用:7-2 鋼板D的弧形槽形狀第八章 傳動系統(tǒng)設(shè)計8.1輸送帶系統(tǒng)輸送帶的運行由電機驅(qū)動。電機經(jīng)減速器輸出動力,驅(qū)動軸I旋轉(zhuǎn),再通過鏈傳動,帶動輸送帶運行。設(shè)計時,使鏈輪的齒數(shù)與輸送帶工位之間的鏈接數(shù)相等,使得鏈輪轉(zhuǎn)一圈時,輸送帶剛好送進一個工位。軸I的一端裝有凸輪壓合行程開關(guān)一次,以切斷電機的電源,使輸送帶停止并定位,從而實現(xiàn)輸送帶的循環(huán)步進運動。8-1 輸送帶運動8.2室蓋開閉運動輸送帶式真空包裝機的真空室由室蓋和承托板構(gòu)成。室蓋開閉由電機驅(qū)動,電機經(jīng)減速器輸出動力,驅(qū)動軸旋轉(zhuǎn),軸上安裝有兩個偏心輪帶動連桿將室蓋拉下,于是,室蓋與承托板壓合,將輸送帶夾持在中間,形成一個密閉的真空室。反之,當(dāng)軸逆時針轉(zhuǎn)動時,室蓋被連桿頂起,真空室開啟。8-2 室蓋開閉運動8.3選擇電動機類型按工作要求和條件選用Y系列一般用途的全封閉自扇冷鼠籠型三相異步電動機。型號:Y90S-4,功率1.1kw,轉(zhuǎn)速15008.4軸的設(shè)計計算按扭轉(zhuǎn)強度條件計算,得軸的最小直徑: 軸選用45鋼,調(diào)質(zhì)處理,查表得.選用兩級圓錐-圓柱齒輪減速器,i=1:60,因此軸傳遞的功率考慮軸上有鍵槽取.8.5鏈傳動系統(tǒng)設(shè)計計算8.5.1系統(tǒng)的傳動比系統(tǒng)的傳動比為i=1,小鏈輪齒數(shù)少可減少外廓尺寸,但降低傳動的工作平穩(wěn)性和工作壽命,初選。然而,鏈輪齒數(shù)并非越多越好。鏈輪齒數(shù)多,除增大傳動的尺寸和重量外,主要問題是容易造成脫鏈現(xiàn)象,縮短鏈的使用壽命。8.5.2計算功率 8.5.3確定鏈條鏈節(jié)數(shù)初定中心距,則鏈節(jié)數(shù)為 取節(jié)8.5.4確定鏈條的節(jié)距P故得所需傳遞的功率為:根據(jù)鏈輪轉(zhuǎn)速及功率0.70kw,選用12A滾子鏈,節(jié)距19.058.5.5確定鏈長L及中心距a 中心距減少量實際中心距取,查表得鏈輪基本參數(shù)齒數(shù)Z=27齒距P=19.05mm =11.91mm分度圓直徑 齒頂圓直徑 取分度圓弦齒高 齒根圓直徑最大齒根距離第九章 聯(lián)軸器的設(shè)計出于簡單、方便及高經(jīng)濟性的考慮,設(shè)計用了剛性聯(lián)軸器。由于制造和安裝誤差,工作過程中的溫度變化和外力導(dǎo)致變形等因素的影響,被聯(lián)接兩軸的軸線有對中位差,采用剛性固定式聯(lián)軸器將會引起附加載荷,使軸、軸承和聯(lián)軸器的工作情況惡化,這時宜采用剛性可移式聯(lián)軸器:滑塊聯(lián)軸器。滑動聯(lián)軸器的徑向尺寸小,主要用于軸線相對徑向位移較大,傳遞轉(zhuǎn)矩大,無沖擊和低速傳動的兩軸聯(lián)接,其中方形滑動由膠木制成,特點是重量輕,慣性力小。9-1 滑動聯(lián)軸器第十章 主要參數(shù)的計算及選擇10.1生產(chǎn)能力的計算單位時間工作循環(huán)計算公式:式中T為工作循環(huán)(1/min);為抽真空時間(s);為熱封時間(s),取15s;為冷卻時間,取23s;為放氣時間(s);為輔助時間(s)。熱封時間與包裝材料有關(guān),而且應(yīng)配合不同的熱封溫度來選擇。不同的包裝材料應(yīng)選擇不同的熱封電壓以及熱封時間。冷卻時間的選擇應(yīng)結(jié)合環(huán)境溫度,時間過長影響包裝效率,過短則影響封口質(zhì)量。輔助時間包括人工排放物料時間及開閉真空室蓋時間。帶傳動的包裝機的真空室蓋由電機驅(qū)動,可通過傳動系統(tǒng)的傳動比計算。工作循環(huán)T取3/min。10.1.1抽真空時間的計算真空包裝機采用的旋片式真空泵是屬于容積式泵,工作中需要對一定容積的真空室進行抽氣。真空室容積為V,真空泵的抽速為u,真空室內(nèi)氣體壓強為P,經(jīng)過時間后泵抽除氣體量為。當(dāng)=0時,代入上式得考慮真空系統(tǒng)池漏,引入修正系數(shù)C,代入上式得式中為抽真空時間(s);P為抽真空達到的最低壓強(Pa);V為真空室容積(L);u為真空泵抽氣速率(L/s);C為修正系數(shù),取C=1.4。10.1.2真空室放氣時間的計算放氣時間與擴散管道截面積成反比,與真空室容積成反比,即: 式中為放氣時間(s),V為真空室容積(L),d為管道直徑(mm),R為擴散系數(shù)。管道長不大于200mm時,K=4.5。10.2熱風(fēng)加壓裝置面積的計算由于真空包裝機的熱封加壓采用氣囊的形式,因此有必要計算氣囊的作用面積,因為這關(guān)系到熱封壓力。 式中S為氣囊的作用面積;為熱封壓強(Pa),熱封工藝參數(shù),一般可??;b為電熱帶寬度(m);l為電熱帶有效長度(m);G為加壓裝置移動部零件的總重力(V);為導(dǎo)入加壓裝置的氣體壓強(Pa),導(dǎo)入大氣則為Pa;為熱封時真空室內(nèi)壓強(Pa)。10.3熱封變壓器參數(shù)的計算(1)熱封電流當(dāng)電熱帶寬度遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于其厚度時,式中I為熱封時通過電熱帶的電流(A),b為電熱帶寬度(mm),為電熱帶厚度(mm),為電熱帶材料的表面負(fù)荷()。為電熱帶材料在工作溫度下的電阻率()。(2)熱封變壓器功率熱封變壓器功率的計算公式如下:式中P為熱封變壓器功率(W),為電熱帶材料的表面負(fù)荷(),b為電熱帶寬度(mm),l為電熱帶長度(mm)。(3)熱封電壓變壓器輸出的熱封電壓按下式計算:設(shè)計小結(jié)為期將近一個學(xué)期的畢業(yè)設(shè)計將要結(jié)束了,作為一次大型的作業(yè)和大學(xué)四年學(xué)到的理論知識與實際設(shè)計的結(jié)合,我對做好這次畢業(yè)設(shè)計非常重視。我這次畢業(yè)設(shè)計選的課題是全自動真空包裝機,這正是我們所學(xué)專業(yè)知識的一個方面,而且有關(guān)真空包裝機的資料也很多,這些對于我們的畢業(yè)設(shè)計有很大的幫助。在調(diào)研期間,我們到一些廠家參觀其成產(chǎn)過程,了解設(shè)計和生產(chǎn)的基本方法和步驟,設(shè)計的好壞影響到實際的生產(chǎn)過程,甚至影響到產(chǎn)品的合格率、生產(chǎn)率和工人操作的難易,以及工人的勞動量及勞動強度。經(jīng)過調(diào)研從學(xué)校圖書館和其他地方取得的設(shè)計資料作為參考和設(shè)計依據(jù),我們確定了設(shè)計方案。根據(jù)設(shè)計參數(shù)我們進行了設(shè)計計算,對一些零件進行強度校核,使整個設(shè)計完全滿足設(shè)計參數(shù)。然后畫出了真空包裝機的裝配圖及有關(guān)部件圖。同時實現(xiàn)全自動包裝也多電氣系統(tǒng)進行設(shè)計。通過這次設(shè)計,我認(rèn)識到要想設(shè)計出一臺較好的機器,必須先清楚自己設(shè)計的產(chǎn)品的功能和要求,了解機器生產(chǎn)的工藝流程,然后考慮如何實現(xiàn)這些功能,選出一種最佳的方案。我們的設(shè)計在遵循一個原則:質(zhì)優(yōu)價廉,機器簡單、可靠。通過畢業(yè)設(shè)計,把機械制圖、理論力學(xué)、材料力學(xué)、機械原理、機械設(shè)計等課程中所獲得的理論知識在實際的設(shè)計工作中綜合地加以運用,使理論知識和生產(chǎn)實踐密切地結(jié)合起來,掌握了機械設(shè)計的基本方法和步驟。20致 謝首先,我要感謝我的導(dǎo)師龐偉,他嚴(yán)謹(jǐn)細(xì)致、一絲不茍的作風(fēng)一直是我工作、學(xué)習(xí)中的榜樣,給了起到了指明燈的作用;他循循善誘的教導(dǎo)和不拘一格的思路給予我無盡的啟迪,讓我很快就感受到了設(shè)計的快樂并融入其中。其次我要感謝同組同學(xué)對我的幫助和指點,沒有他們的幫助和提供資料,沒有他們的鼓勵和加油,這次畢業(yè)設(shè)計就不會如此的順利進行。此次畢業(yè)設(shè)計歷時三個月,是我大學(xué)學(xué)習(xí)中遇到過的時段最長、涉及內(nèi)容最廣、工作量最大的一次設(shè)計。用老師的一句話概括就是這次畢業(yè)設(shè)計相當(dāng)如是把以前的小課程設(shè)計綜合在一起的過程,只要把握住每個小課設(shè)的精華、環(huán)環(huán)緊扣、增強邏輯,那么這次的任務(wù)也就不難了。我此次的任務(wù)是做一個項目的招標(biāo)文件。雖說老師說的話讓此次的畢業(yè)設(shè)計看起來不是那么的可怕,但是當(dāng)我真的開始著手時,還的確是困難重重。俗話說的好,“磨刀不誤砍柴工”,當(dāng)每次遇到不懂得問題時,我都會第一時間記在本子上面,然后等答疑的時候問老師,老師對于我提出來的問題都一一解答,從來都不會因為我的問題稍過簡單加以責(zé)備,而是一再的告誡我做設(shè)計該注意的地方,從課題的選擇到項目的最終完成,老師都始終給予我細(xì)心的指導(dǎo)和不懈的支持,真正起到了“傳道授業(yè)解惑疑”的作用,讓人油然而生的敬佩。除此之外,我們組和老師還有另外兩個交流途徑:打電話和上網(wǎng),為此老師還特意建立一個群,以便大家第一時間接收到畢業(yè)設(shè)計的最新消息和資料,每次大家都在群不亦樂乎的討論著畢業(yè)設(shè)計的事情。多少個日日夜夜,老師不僅在學(xué)業(yè)上給我以精心指導(dǎo),同時還在思想、生活上給我以無微不至的關(guān)懷,除了敬佩老師的專業(yè)水平外,他們的治學(xué)嚴(yán)謹(jǐn)和科學(xué)研究的精神也是我永遠(yuǎn)學(xué)習(xí)的榜樣,并將積極影響我今后的學(xué)習(xí)和工作。在此謹(jǐn)向龐偉老師致以誠摯的謝意和崇高的敬意。在論文即將完成之際,我的心情無法平靜,從開始進入課題到論文的順利完成,有多少可敬的師長、同學(xué)、朋友給了我無言的幫助,在這里請接受我誠摯的謝意! 最后我還要感謝我的母校三江學(xué)院四年來對我的栽培。參考文獻1濮梁貴、紀(jì)名剛主編,機械設(shè)計M.北京:高等教育出版社出版,2001;2徐灝主編,機械設(shè)計手冊M(第一卷).北京:機械工業(yè)出版社,2000;3江耕華主編,機械傳動設(shè)計手冊(上、下)M.北京:煤炭工業(yè)版,1992;4張聰主編,自動化食品包裝機J.廣東科技出版社,2003;5成大先主編,機械設(shè)計手冊(第七卷)M.北京:化學(xué)工業(yè)出版社,2004;6王萍主編,真空包裝機氣路系統(tǒng)設(shè)計原理J.包裝與食品機械,1998;7錢俊,余洗,劉冬林主編,特種包裝技術(shù)M.北京:化學(xué)工業(yè)出版社.2003;8劉筱霞主編,包裝機械M.北京:化學(xué)工業(yè)出版社,2007;9 Uffe Hindhede .Machine Design Fundamentals A Practical ApproachJ.New York:Wiley出版社,1983.10 Johnson BY.Chilled Vacuum-packed beef.CSIRO Food Res.Quart,1974。22畢業(yè)設(shè)計(論文)指導(dǎo)情況記錄表(本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫) 第10周教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式(教師填寫):(指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況)本次是共性的要求:1、將零件圖全部掃尾,轉(zhuǎn)入下一部工作;2、按每個人任務(wù)書要求,進入設(shè)計說明書或者論文的寫作;3、注意查閱所提供的各類文獻資料以及老師提供的參考書;4、工藝方案分析比較要細(xì),然后確定所需磨具的結(jié)構(gòu),這是本次設(shè)計的關(guān)鍵;5、時間要求:5月20日前后初步提交老師初審。指導(dǎo)教師簽名: 20*年4月25日學(xué)生意見(任務(wù)完成情況及需要解決的問題):在說明書編寫過程中將隨時上網(wǎng)交流,請教老師。 學(xué)生簽名: 20*年4月26日注:此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制,每指導(dǎo)一次,填寫一次,不受頁數(shù)限制。1畢業(yè)設(shè)計(論文)指導(dǎo)情況記錄表(本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫) 第11周教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式(教師填寫):(指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況)1、布置學(xué)生按規(guī)定的格式編寫論文,注意重點及論文的要求。指導(dǎo)教師簽名: 20*年5月5日學(xué)生意見(任務(wù)完成情況及需要解決的問題):1、隨時與指導(dǎo)老師在網(wǎng)上交流。2、多查閱文獻。 學(xué)生簽名: 20*年5月6日注:此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制,每指導(dǎo)一次,填寫一次,不受頁數(shù)限制。1畢業(yè)設(shè)計(論文)指導(dǎo)情況記錄表(本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫) 第12周教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式(教師填寫):(指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況)1、重點指導(dǎo)校核及計算。指導(dǎo)教師簽名: 20*年5月9日學(xué)生意見(任務(wù)完成情況及需要解決的問題):1、我先復(fù)習(xí)所學(xué)過的有關(guān)課程。2、要寫的內(nèi)容很多。3、計算量較大。 學(xué)生簽名: 20*年5月9日注:此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制,每指導(dǎo)一次,填寫一次,不受頁數(shù)限制。1畢業(yè)設(shè)計(論文)指導(dǎo)情況記錄表(本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫) 第13周教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式(教師填寫):(指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況)1、繪制一張手工零件圖。指導(dǎo)教師簽名: 20*年5月16日學(xué)生意見(任務(wù)完成情況及需要解決的問題):1、根據(jù)指導(dǎo)老師要求,手工繪制一張A3圖紙。 學(xué)生簽名: 20*年5月16日注:此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制,每指導(dǎo)一次,填寫一次,不受頁數(shù)限制。1 畢業(yè)設(shè)計(論文)指導(dǎo)情況記錄表(本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫) 第14周教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式(教師填寫):(指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況)1、零件圖中少線條;指導(dǎo)教師簽名: 20*年5月23日學(xué)生意見(任務(wù)完成情況及需要解決的問題):1、檢查零件圖中錯誤;2、將零件圖中缺少的線條補全。 學(xué)生簽名: 20*年5月23日注:此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制,每指導(dǎo)一次,填寫一次,不受頁數(shù)限制。1 畢業(yè)設(shè)計(論文)指導(dǎo)情況記錄表(本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫) 第15 周教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式(教師填寫):(指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況)1、修改格式及字體;2、檢查自己的任務(wù)是否完成;3、熟悉圖紙和論文內(nèi)容;4、準(zhǔn)備答辯指導(dǎo)教師簽名: 20* 年5月30日學(xué)生意見(任務(wù)完成情況及需要解決的問題):先熟悉圖紙,再熟悉文章,仔細(xì)檢查再把大概熟悉一下。 學(xué)生簽名: 20*年5月30日注:此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制,每指導(dǎo)一次,填寫一次,不受頁數(shù)限制。1畢業(yè)設(shè)計(論文)指導(dǎo)情況記錄表(本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫)教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式(教師填寫):(指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況)1、交外文翻譯(與專業(yè)相關(guān)的外文資料)漢字3000左右(含譯文與原文)2、公布本次畢業(yè)設(shè)計有關(guān)題目,選題。3、題目:全自動真空包裝機設(shè)計。3、擬開題報告初稿。指導(dǎo)教師簽名: 20* 年2月22日學(xué)生意見(任務(wù)完成情況及需要解決的問題):1、按照要求交外文翻譯漢字3000左右;2、搜索并初步了解全自動真空包裝機設(shè)計的結(jié)構(gòu)組織;3、根據(jù)課題,擬定開題報告初稿。 學(xué)生簽名: 年 月 日注:此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制,每指導(dǎo)一次,填寫一次,不受頁數(shù)限制。1 畢業(yè)設(shè)計(論文)指導(dǎo)情況記錄表(本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫)教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式(教師填寫):(指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況)1、開題報告格式按照有關(guān)規(guī)定進行調(diào)整。2、下達畢業(yè)設(shè)計任務(wù)書。3、初步檢查開題報告編寫進度。指導(dǎo)教師簽名: 20*年 2 月 29日學(xué)生意見(任務(wù)完成情況及需要解決的問題):1、 按照規(guī)定對開題報告格式進行調(diào)整;2、 仔細(xì)閱讀畢業(yè)設(shè)計任務(wù);3、 初步完成開題報告。4、 學(xué)生簽名: 年 月 日注:此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制,每指導(dǎo)一次,填寫一次,不受頁數(shù)限制。1 畢業(yè)設(shè)計(論文)指導(dǎo)情況記錄表(本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫)教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式(教師填寫):(指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況)1、本次采用的方式:網(wǎng)上指導(dǎo)。2、譯文格式,字體、段落要重新處理一下。3、開題報告內(nèi)容的大框架還可以,有的地方需細(xì)化。指導(dǎo)教師簽名: 20*年3 月7 日學(xué)生意見(任務(wù)完成情況及需要解決的問題):1、按照要求將外文翻譯的格式,字體、段落要重新處理一下;2、開題報告的細(xì)節(jié)進行修改。 學(xué)生簽名: 年 月 日注:此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制,每指導(dǎo)一次,填寫一次,不受頁數(shù)限制。1 畢業(yè)設(shè)計(論文)指導(dǎo)情況記錄表(本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫)教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式(教師填寫):(指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況)本次現(xiàn)場統(tǒng)一布置和講解:1、主要講解每位所設(shè)計的題目,如何開始進行設(shè)計和構(gòu)思。2、統(tǒng)一設(shè)計時使用的圖紙標(biāo)題欄要求。3、設(shè)計時使用CAD軟件繪圖,除cad繪圖外必須有手工繪制的一張3號裝配圖。指導(dǎo)教師簽名: 20*年3月14日學(xué)生意見(任務(wù)完成情況及需要解決的問題):1、聽從老師對設(shè)計題目的講解,對全自動真空包裝機有個初步的構(gòu)思。2、對設(shè)計時使用的圖紙標(biāo)題欄的統(tǒng)一要求進行了解。3、聽從老師安排,知道設(shè)計的任務(wù)量。 學(xué)生簽名: 年 月 日注:此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制,每指導(dǎo)一次,填寫一次,不受頁數(shù)限制。1畢業(yè)設(shè)計(論文)指導(dǎo)情況記錄表(本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫)教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式(教師填寫):(指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況)1、查閱資料,參考同類產(chǎn)品的基礎(chǔ)上構(gòu)思自己所設(shè)計結(jié)構(gòu)。1)傳動方案的選擇,保證傳動的穩(wěn)定性及正確性。2)在基本參數(shù)和受力分析的條件下,確定各軸的基本尺寸。3)確真空包裝機機構(gòu)中電機、軸承、鍵型號。4)軸承類型的選擇。2、去圖書館查閱相關(guān)資料,啟發(fā)設(shè)計思路。3、認(rèn)真閱讀所提供參考書的相關(guān)章節(jié),了解真空包裝機原理。指導(dǎo)教師簽名: 20* 年3 月 21 日學(xué)生意見(任務(wù)完成情況及需要解決的問題):1、查閱相關(guān)資料,參考同類產(chǎn)品,構(gòu)思自己的設(shè)計,對傳動方案進行選擇,確定各軸尺寸,真空包裝機機構(gòu)中電機、軸承、鍵型號,以及軸承類型選擇。2、在圖書館查閱資料,了解設(shè)計的基本思路。3、閱讀相關(guān)參考書,了解真空包裝機的基本工作原理。 學(xué)生簽名: 年 月 日注:此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制,每指導(dǎo)一次,填寫一次,不受頁數(shù)限制。2畢業(yè)設(shè)計(論文)指導(dǎo)情況記錄表(本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫)教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式(教師填寫):(指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況)該生因工作缺席指導(dǎo)。指導(dǎo)教師簽名: 20* 年3 月28 日學(xué)生意見(任務(wù)完成情況及需要解決的問題):1、根據(jù)上周查閱的相關(guān)資料,對總裝圖進行大體的繪制;2、對圖紙進行簡單的標(biāo)注。 學(xué)生簽名: 年 月 日注:此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制,每指導(dǎo)一次,填寫一次,不受頁數(shù)限制。2畢業(yè)設(shè)計(論文)指導(dǎo)情況記錄表(本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫)教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式(教師填寫):(指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況)網(wǎng)上指導(dǎo):1、總裝圖總體布置合理,視圖選擇正確,表達方法正確,投影規(guī)律正確,但一些細(xì)節(jié)結(jié)構(gòu)表達有問題或未表達。2、標(biāo)注上有一些問題。3、貫徹國標(biāo)要加強。指導(dǎo)教師簽名: 20*年4月4 日學(xué)生意見(任務(wù)完成情況及需要解決的問題):1、在一些細(xì)節(jié)結(jié)構(gòu)的表達進行修改。2、對標(biāo)注上出現(xiàn)的小問題進行修正。3、深入了解貫徹國標(biāo)。 學(xué)生簽名: 年 月 日注:此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制,每指導(dǎo)一次,填寫一次,不受頁數(shù)限制。2畢業(yè)設(shè)計(論文)指導(dǎo)情況記錄表(本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫)教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式(教師填寫):(指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況)本周集中指導(dǎo),主要講解共性的問題。1、從整體情況看圖紙設(shè)計進度基本一致,但大部分同學(xué)零件圖設(shè)計方面還有少量尺寸遺漏,粗糙度標(biāo)的不完善,回去仔細(xì)檢查一下。2、總裝圖還有尺寸標(biāo)注問題。3、技術(shù)要求要標(biāo)注清楚。4、抓緊時間處理完圖紙問題,接下去著手論文寫作。指導(dǎo)教師簽名: 20*年4月11日學(xué)生意見(任務(wù)完成情況及需要解決的問題):1、 對圖紙上出現(xiàn)的少量尺寸遺漏,粗糙度標(biāo)的不完善進一步進行完善,檢查仔細(xì)。2、 對總裝圖的尺寸標(biāo)注問題進行修正。3、 標(biāo)明技術(shù)要求。4、 處理完圖紙問題,為論文寫作做準(zhǔn)備。 學(xué)生簽名: 年 月 日注:此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制,每指導(dǎo)一次,填寫一次,不受頁數(shù)限制。1畢業(yè)設(shè)計(論文)指導(dǎo)情況記錄表(本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實填寫) 第9周教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式(教師填寫):(指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻資料、綜合運用知識、方案設(shè)計、論文寫作、外文應(yīng)用、實驗、指出存在問題及解決辦法等簡況)1、總裝圖一些細(xì)小結(jié)構(gòu)有錯誤。2、標(biāo)準(zhǔn)件應(yīng)采用新標(biāo)準(zhǔn),用caxa中的標(biāo)準(zhǔn)即可。指導(dǎo)教師簽名: 20*年 4月 18日學(xué)生意見(任務(wù)完成情況及需要解決的問題):1、修改了錯誤;2、標(biāo)準(zhǔn)件按新標(biāo)準(zhǔn)重新選用。 學(xué)生簽名: 20*年4月18日注:此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制,每指導(dǎo)一次,填寫一次,不受頁數(shù)限制。1晶圓級MEMS真空包裝 R. Gooch,a) T. Schimert, W. McCardel, and B. Ritchey 雷聲系統(tǒng)公司,微軟35,達拉斯,德克薩斯州75243 D. Gilmour and W. Koziarz空軍研究實驗室/ IFTE,羅馬,紐約13441-4505 (1998年10月12日1999年4月26日)真空包裝的高性能紅外(IR)的MEMS非制冷探測器和陣列,慣性MEMS加速度計和陀螺儀,射頻(RF)MEMS諧振器是一個技術(shù)發(fā)展道路,以低成本,高容量的MEMS生產(chǎn)中的關(guān)鍵問題。傳送到晶圓廠的晶圓級真空包裝,包裝操作。它是中性的產(chǎn)品使MEMS商用化的技術(shù),為家庭,工業(yè),汽車,環(huán)境監(jiān)測應(yīng)用。 4英寸晶圓級真空包裝已被證明使用紅外MEMS測輻射熱計和結(jié)果將在這篇文章中提出。除了晶圓級封裝,組件級陶瓷真空包真空包裝的可靠性得到的結(jié)果也將提交。 1999美國真空學(xué)會。S0734-210199!21204-3 1、 引言 真空包裝的高性能紅外(IR)的MEMS非制冷探測器和陣列,以及慣性MEMS加速度計和陀螺儀,射頻(RF)MEMS諧振器是在技術(shù)發(fā)展道路的關(guān)鍵問題,以低成本,高容量的MEMS生產(chǎn)。大多數(shù)非致冷探測器技術(shù)采用細(xì)長的熱隔離腿支撐基板薄,熱響應(yīng)暫停膜像素設(shè)計熱隔離。典型的懸浮膜熱阻的熱隔離衡量ED是,即熱導(dǎo)。這樣的隔熱水平,需要分10毫托真空的真空環(huán)境,消除通過氣導(dǎo)包中的熱損失 。圖1、組件級和晶圓級真空包裝比較方法 在這篇文章中,晶圓級紅外MEMS非制冷探測器的真空包裝的最新研究成果,提出了一個組件級陶瓷真空包裝方法的對比。組件級和晶圓級封裝方法的比較示于圖1。組件級真空包裝過程中涉及到MEMS晶圓切割和安裝在個別其后密封和測試的陶瓷封裝的MEMS芯片。在waferlevel包裝方法,MEMS模具密封在一個密封的過程,并隨后在晶圓級測試。晶圓被切割成個別真空包裝死于測試完成后。晶圓級真空包裝方法的主要優(yōu)點是大大降低了成本和相對較高的卷吞吐量組件級的真空包裝方法。晶圓級封裝還提供低成本微小型化和系統(tǒng)集成方面的關(guān)鍵優(yōu)勢。 圖2(a)1英寸晶圓級真空包裝,密封環(huán)結(jié)構(gòu)(b)1及(c)英寸晶圓,4英寸晶圓結(jié)果晶圓級真空包裝的a-Si微測陣列。分10毫托真空晶圓級封裝陣列已被證明。從正在進行的密封式晶圓級封裝測試的結(jié)果表明,迄今沒有退化包真空包7個月的壽命。一個4英寸晶圓級真空包78的晶圓密封產(chǎn)量的過程中已被證明。還提出了一個84針0.7*0.7英寸腔和16針0.2*0.3英寸腔CERDIP封裝陶瓷真空包的可靠性結(jié)果。一個抗反射涂層的硅或鍺蓋密封陶瓷封裝。分10毫托真空包裝的a-Si微測陣列已被證明。此外,陶瓷真空包裝的微測陣列已受到烘烤的高溫穩(wěn)定性測試,在150為在空軍研究實驗室,紐約,羅馬,1500沒有包真空退化。陶瓷真空包裝已使用可靠的a-Si微測陣列封裝熱阻接近輻射限制的包熱隔離 。圖3、1英寸晶圓級10毫托真空的真空包裝 二、晶圓級真空包裝 晶圓級真空包裝,低成本,高容量的紅外MEMS慣性MEMS,RF MEMS應(yīng)用正在開發(fā)中。1英寸,4英寸晶圓鋸的零件進行了初步發(fā)展。的晶圓級封裝過程現(xiàn)在已經(jīng)擴大到4英寸晶圓。近日,4英寸晶圓級真空包裝示范使用的a-Si微測陣列晶片已進行了密封晶圓產(chǎn)量的78。如圖1英寸晶圓級封裝2(a)。1英寸的一部分,有獨立包裝的死,硅微測每個密封環(huán),見圖6。2(b)一個1英寸晶圓包含四個雙通道微測封裝模具和兩個四通道封裝模具,分別用于在紅外氣體傳感器的應(yīng)用。密封的熱輻射計腔如圖密封下運行使用金屬互連解決。2(b)互連密封圈電絕緣氮化層分離。一個4英寸微測晶圓顯示密封圈結(jié)構(gòu)如圖2(c)。晶圓級真空包裝,結(jié)果表明包真空10毫托如圖3。為了獲得精確的校準(zhǔn)在晶圓級真空包裝模具的細(xì)胞壓力,孔鉆在一個密封包裝和包被放置在一個真空杜瓦獲得微測信號與真空壓力校準(zhǔn)曲線顯示在弄清楚。使用曲線,在密封包裝的信號(54毫伏)對應(yīng)到9毫托密封的真空度 。圖4。晶圓級封裝超過7個月期間的穩(wěn)定 六個打包的穩(wěn)定真空度測量死在1英寸晶圓級封裝圖2(B)已進行了7個月的期間內(nèi)沒有任何包裝模具的微測信號的退化。圖所示為真空晶圓級封裝123號穩(wěn)定結(jié)果如圖4。在五六個包模的微測信號顯示超過7個月的試驗表明,晶圓級封裝真空并沒有惡化的時期保持穩(wěn)定。一個短的開發(fā)在封裝模具1號之后的第三次測量的數(shù)據(jù)不可用。這些結(jié)果是一個長期可靠的非致冷探測器真空晶圓級封裝的第一個示范。該軟件包將繼續(xù)進行監(jiān)測,評估延長一段時間的晶圓級真空包裝的完整性。 晶圓級封裝過程已擴大到4英寸晶圓圖2(c)條近4英寸的a-Si輻射熱計晶圓級真空包裝示范參展密封產(chǎn)量的78,整個功能模晶圓。密封4英寸晶圓鋸的個別模具,如圖9以下討論三 。圖5。84引腳陶瓷封裝(a)顯示安裝陣列(二)密封 3、 用于組件級陶瓷真空包裝的可靠性研究 圖6。 84引腳陶瓷封裝結(jié)果 在本節(jié)中,將真空包裝的穩(wěn)定性和可靠性都高,高溫烘烤穩(wěn)定和組件級陶瓷封裝長期的真空穩(wěn)定性試驗獲得的研究。 84針陶瓷真空包裝,為大面積的MEMS開發(fā),如圖5。如圖0.7開放84針氧化鋁陶瓷封裝*0.7英寸腔面積。 5(a)與兩個256*78A硅微測陣列安裝在腔。如圖焊接密封抗反射(AR)涂層鍺窗口(8-12微米的光譜帶通)包5(b)。 GE窗口,因為它在8-12微米波段的透明度。此外,低的熱膨脹系數(shù)(CTE)不匹配之間的氧化鋁陶瓷封裝()和GE窗口()是產(chǎn)量高,質(zhì)量可靠焊接密封使用這種大包的過程中的一個關(guān)鍵要求。 真空包裝在一個密封的84引腳封裝,得到的結(jié)果如圖6。至于與晶圓級封裝,真空校準(zhǔn)進行封裝后密封,在密封包裝的蓋子上鉆一個孔,并放置在真空杜瓦包,獲得了微測信號與真空度的校準(zhǔn)曲線測試。大面積的84引腳陶瓷真空包裝后密封與真空度的微測信號校準(zhǔn)曲線如圖6。在這種情況下的密封包裝測輻射熱計的信號水平是101毫伏。從圖中的校準(zhǔn)曲線,這相當(dāng)于3毫托的真空密封包裝。圖7。150烘烤84引腳陶瓷封裝的穩(wěn)定結(jié)果 兩個84引腳的陶瓷真空包裝,含雙256* 78陣列都受到高溫烘烤穩(wěn)定性測試,在空軍研究實驗室,紐約,羅馬。在測試中,593和595包,以150烤1500。結(jié)果,如圖所示。7,顯示為兩個通道,在每包(-6,-8)的輻射熱計的信號水平。該軟件包進行了測試后共100小時,在150C烘烤和復(fù)檢后,共有350個,1000和1500,分別在150烤。 100小時后,在這兩個探測器的渠道表現(xiàn)出輻射熱計信號略有增加。1500年之后,這兩個包中的探測器通道593基本保持不變。在595包,是一個信號后小幅回落350由于部分分層抗反射涂層。然而,最后兩個通道的信號電平與初始信號電平,表示沒有真空包退化。據(jù)悉,在圖的a-Si微測信號電平第7兩至三次較大,如圖6。相同的條件下進行了測量兩套。圖改進的信號電平第7,由于最近的a-Si微測熱隔離像素增強。在這些的像素單元,大大提高熱電阻(熱導(dǎo)。已經(jīng)取得了比較以前的報告。 圖8。29日每月17 CERDIP封裝真空包裝真空穩(wěn)定的結(jié)果 最后,對于長期包真空,它指出,84引腳的陶瓷真空包裝的最古老的,現(xiàn)在超過12月齡,表明沒有真空退化的跡象。此外,從長期(29月),真空包裝的穩(wěn)定性試驗的結(jié)果進行了AR涂層的硅蓋密封包裝,年齡在圖使用以前開發(fā)的組件級別的16引腳cerdip真空。8。在圖中,最終微測信號的比例(29個月后)的初始信號顯示,基本上仍然是統(tǒng)一測試表明微測信號沒有退化,因此包真空超過29個月期間,為17個包。圖9顯示了六個WLVP模具從密封4英寸晶圓被鋸掉,安裝和測試包進行他們通過同一套陶瓷包裝的輻射熱計陣列的環(huán)境試驗。評價是目前正在進行。都死了幾百小時150烘烤后存活不變。圖9。六WLVP模具在評價的84針包 四、 概要 真空包裝的高性能紅外MEMS的非制冷探測器和陣列,以及慣性MEMS加速度計和陀螺儀,射頻MEMS諧振器是一個低成本,大批量MEMS生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展路徑中的關(guān)鍵問題。在這篇文章中,晶圓級紅外MEMS非制冷探測器的真空包裝的最新研究成果進行了介紹和對比與組件級陶瓷真空包裝方法。在MEMS的晶圓級封裝方法,模具密封在一個密封的過程,并隨后在晶圓級測試。晶圓被切割成個別真空包裝死于測試完成后。晶圓級真空包裝方法的主要優(yōu)點是大大降低了成本和相對較高的卷吞吐量組件級別的真空包裝方法。晶圓級封裝還提供低成本微小型化和系統(tǒng)集成方面的關(guān)鍵優(yōu)勢。 晶圓級真空包裝的a-Si微測陣列的結(jié)果。分10毫托真空晶圓級封裝陣列進行了論證。從正在進行的密封式晶圓級封裝測試的結(jié)果表明,迄今沒有退化包真空包7個月的壽命。一個4英寸晶圓級真空包78的晶圓密封產(chǎn)量的過程中被證明。 還介紹了一個84針的0.7英寸*0.7英寸腔和16針0.2英寸*0.3英寸腔CERDIP封裝陶瓷真空包的可靠性結(jié)果。一個抗反射涂層的硅或鍺蓋密封陶瓷封裝。分10毫托真空包裝的a-Si微測陣列已被證明。此外,陶瓷真空包裝的微測陣列受到高溫穩(wěn)定性烤測試包真空中沒有退化為1500150。 致謝 真空包裝的開發(fā)工作,支持DARPA的合同號F30602-97-C-0127,“MEMS真空包裝,COTR,杜安吉爾莫,美國空軍研究實驗室,DARPA的ETO項目經(jīng)理,埃利亞斯Towe; DARPA的駐MEMS項目經(jīng)理,鋁皮薩諾。作者感謝卡洛斯卡斯特羅有益的討論和支持。他們還感謝貝蒂莫西爾,簡亨利,約翰克拉克,馬克Gulsvig,蘇珊燕子和諾米威廉姆斯,他們的技術(shù)援助。 1T。 schimert,R古奇,W. McCardel,R.特里爾,S.萊羅,J.惠特尼,P.克羅格,和Ahne答,1996年環(huán)境和過程監(jiān)控,空氣及廢物的光學(xué)傳感技術(shù)的國際專業(yè)會議論文集管理協(xié)會,1997年,第67-77頁。 7
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